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一种改进的非球面同轴朗奇检测法.pdf
第16卷第4期 上海应用技术学院学报(自然科学版) Vol_16NO．4
OFSHANGHAI OF
2016年12月 JOURNAL INSTITUTETECHNOLOGY(NATURALSCIENCE) Dec．2016
文章编号：1671—7333(2016)04—0348—05
一种改进的非球面同轴朗奇检测法
郭春凤
(上海应用技术大学理学院，上海 201418)
摘 要：提出一种非球镜面形的同轴朗奇检测法，该方法使用一个半透半反镜，将点光源等效地置
于非球面镜顶点的曲率中心附近，利用透射液晶显示(LCD)屏生成正弦条纹，并将其作为相移装
置．在测量过程中，从点光源发出的光经过半透半反镜和待测镜面反射后，再透过半透半反镜和正
弦条纹，形成的变形条纹由探测器接收．基于朗奇检测的几何原理分析采集到的条纹图，得到待测
镜面偏离理想面形的偏差梯度，对其积分获得镜面偏差，从而重建待测非球面镜的面形．与传统的
同轴朗奇法相比，所提方法可以避免由于光两次经过正弦条纹而引入的检测误差．此外，该方法具
有较好的抗噪声能力．计算机模拟验证了所提方法的可行性．
关键词：光学测量；三维面形测量；非球面面形；同轴朗奇检测法；条纹分析
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中图分类号：TN247；O 文献标志码：A
An on—AxisRonchiTestfor Surfaces
Improved Aspheric
GUO
Chunfeng
of Instituteof
(School 201418，China)
Sciences，ShanghaiTechnology，Shanghai
on—axis to
Abstract：An Ronchitestwas measure mirrorsurfaces．Inthe
improved proposed aspheric
method，asourcewaslocatednearthecenterofcurvatureofthetestmirror a
proposed point byusing
beam was to sinusoidal
splitter．Atransmission—typeliquidcrystaldisplay(LCD)screen
employeddisplay
andworkasthe themeasurement
device．In froma source
fringes phase—shifting process，thelight point
wasreflectedthebeam andthetestmirror，andthenittraveled thebeam and
by splitter through splitter
thesinusoidal
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