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2017-06-06 发布于广东
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软脆功能晶体碲锌镉化学机械抛光.pdf

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第44卷第12期机械工程学报 V01．44No．12 2008年12月 00 Dec． 2 8 CHⅣESEJOURNALOFMECHANICALENGINEERING DoI：10．3901／JME．2008．12．215 软脆功能晶体碲锌镉化学机械抛光木张振宇郭东明康仁科高航李岩 (大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室大连 116024) 摘要：采用直径为2～5pana型A1203研磨剂和自行研制的均匀分布的5nin抛光球抛光液，进行研磨一机械抛光一化学机 mn。3．499nln。抛光后表面粗糙度尼分别为2．196啪，3．145 关键词：软脆功能晶体CdZnTe化学机械抛光纳米球抛光液中图分类号：THll7 ChemicalMechanicalResearchofCdZnTeFunctional Polishing withSoftBrittleNature Crystalline ZHANG GUO KANGRenkeGAO LIYah Zhenyu Dongming Hang forPrecisionNon-traditional (KeyLaboratory and MachiningTechnology,Minist巧ofEducation， Dalian of 11 University Technology,Dalian6024) Abstract：Withanovel andchemicalmechanical abrasivewithdiameter abrasive，mechanical method，aA1203 polishing polishing of2·5 withdiameter5nin and of are to and the pm self-developednanospherepolishingslurry respectivelyemployedlap polish sheet．For traditional Cd0．9Zn0．iTe(111)，Cd096Zno．04Te(110)andcdo．96zrl0．04Te(111)singlecrystalline comparison，themachining method is usedto of andchemicalcorrosionalso machinethe abrasive，mechanicalpolishing Cdo．96zno．04Te(111)singlecrystalline sheet