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涂胶显影机的产能设计
兰呈堡型遣三茎皇堡鱼 坠墨孟玉!墨墨星显要堂望团
涂胶显影机的产能设计
胡延兵，尹宁
(沈阳芯源微电子设备有限公司，辽宁沈阳l10168)
摘 要：涂胶显影机的产能设计是一个重要部分，通过对机台的工艺时间参数、工艺处理周期时
间参数、工艺传递周期时间参数等核心参数的设计，有效地配置工艺处理模块的数量及位置、工
艺传递晶圆的速度及路线，搭建出目标机台内的_T-艺模块组成架构，确定出目标机台内的各个机
器人技术参数．满足与光刻机联线生产的量产涂胶显影机对产能的技术需求。
关键词：机台的工艺时间参数；工艺处理周期时间参数；工艺传递周期时间参数
305
中图分类号：TN 文献标识码：B
of
CapacityDesignCoaterDeveloper
HU INN
Yanbing，Ying
SEM
(KINGIC0．，Ltd，Shenyang110168，China)
Abstract：T isa eterfor虹acksused henumberand
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pammeter；processcycle pammeter；processcycle
Keywords：mprocess血e
eter
pamm
在现代半导体生产工厂，量产的涂胶显影机 块的产能、晶圆传递机器人的产能、调度控制系统
是与光刻机联线作业的，该涂胶显影机离线生产 的品质，设计三个时间参数并配置相关技术参数，
时的产能要高于光刻机的产能，产能设计是量产 可以将机台内工艺模块的产能设计和晶圆传递机
涂胶显影机开发设计的重要部分。 器人的产能设计有效结合，满足量产涂胶显影机
涂胶显影机的产能主要取决于机台内工艺模 目标产能的设计需求。
收稿日期：2014_07_20
基金项目：国家科技重大专项(
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