小电流校准检定系统建立及不确定度评定_于丽娟.pdf

35 9 核电子学与探测技术 Vol． 35 No． 9 第 卷 第 期 2015 9 Nuclear Electronics ＆ Detection Technology Sept． 2015 年 月 小电流校准检定系统建立及不确定度评定 于 ， ， ， ， 丽娟 韩光 李宪优 王玲 魏学荣 ( ， 710024) 西北核技术研究所强脉冲辐射环境模拟与效应国家重点实验室 西安 : 、 、 摘要 小电流测量仪器在航空航天测控 半导体集成电路测试 核试验测试及其他研究领域中应用 ， 。 ， fA ， 较多 并且发挥着很重要的作用 由于小电流测量仪器精度高 分辨率达到 级 小电流测量仪器的校 、 。 Keithley 5156 Fluke5520A 准 检定就显得尤为困难 本文论述了利用 的 精密高阻和 多功能源组成的小 、 。 ， ， 电流测量仪校准 检定系统 针对该校准系统 分析了校准过程的不确定度来源 依据相关标准进行了 ， 。 不确定度评定 结果证明组建的小电流测量仪校准系统是可靠的 该系统完全可以满足各种小电流测 、 。 量仪的校准 检定工作 : ， ， 关键词 小电流测量仪 校准系统建立 不确定度评定 中图分类号: TN 41 文献标志码: A 文章编号:0258-0934 (2015)09-0944-03 ， 本文采用间接测量方法实现小电流测量仪校 随着科研试验测量技术的发展 小电流测 、 、 、 。 量仪器在航空航天测控 半导体集成电路测试 准 检定 核试验测试及其他研究领域中使用越来越多， 1 1 小电流测试系统的建立 。 并且发挥着很重要的作用 正是因为各领域的 ， 1. 1 1． 1 需求 高精度高分辨力的小电流测量仪被大量 小电流检定系统设计 ， Keithley 6517A 、6517B 、6487 使用 例如 公司的 本项目采用间接测量法实现对小电流仪的 ， 。 Keithley 5156 等小电流测量仪 仪器电流测试最小量程一般 检定 检定系统由 公司的 标准 pA ， fA ， 。 Fluke 5520A 。 为 级 分辨率达到 级 测量精度较高 高阻和 公司的 多功能源组成 由