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IC工厂的防微振设计 ☆ 中国电子工程设计院 俞渭雄 陈 骝 娄 宇 摘 要 集成电路 ( )工厂设计的核心问题是微污染控制,防微振作为控制振动污染,在工程设计中占有重要的地 IC 位。防微振技术涉及的环节较多,本文提出依据现场测试与工程实践经验,把握主要环节,遵从系统性的观点,采用科学 的方法,解决防微振问题。 关键词 集成电路 微污染控制 振动源 防微振结构 隔振措施 Micro-Vibration-ProofDesignforICFab ★ ByYUWeixong,CHENLiuandLOUYu AbstractMicro-contaminationcontrolisthehardcoreinICfabengineeringdesign.Beingthevibrationcontaminationcontrol, micro-vibration-proofplaysanimportantroleintheengineeringdesign.Themicro-vibration-prooftechnologyinvolvesquitesome links.Inthispaper,wesuggestthatbasedonthesitetestsandtheprojectexperience,holdmajorlinksandfollowthesystematic m ideassoastofindbettersolutionforsolvingtheproblemsinmicro-vibration-proof. o KeywordsICMicro-contaminationcontrolVibrationsourcesMicro-vibration-proofstructureVibrationisolation c ★ChinaElectronicsEngineeringDesignInstitute g. 可以采用复合地基或桩基础,在设备隔振方面更是方案多 (续上期) n 样,措施不同,等等。也就是说,不论采取什么样的防微 o 5IC工厂的防微振设计 振措施,最终的目标是一样的。然而也必需指出,由于防 l 5.1防微振设计的特点及设计程序 u微振方案不同,措施不同,引起的工程造价也不同,更需 IC工厂防微振设计有如下特点: h 对方案进行权衡比较。另外,由于措施的多样性,在评论 ()振源的多样性:以厂外振源为例,铁路列车、地 防微振方案的措施时,单一的对某一措施进行评论,是不 1 z 铁、城市道路汽车、附近工厂机械、机场飞机及车辆、建 全面的,对方案要进行综合分析比较,才有意义。 . ()阶段设计的必要性:由于防微振的微振动量是很 设工程施工机械等运行的振动影响,由于 IC工厂所在地区 4 w