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第1章 引言 1.1 传感器的发展和作用 1.2 什么是传感器 1.3 传感器的分类 1.4 传感器的性能和评价 1.1 传感器的发展和作用 传感器技术的发展十分迅速的原因有如下几点: (1) 电子工业和信息技术促进了传感器产业的相应发展。 (2) 政府对传感器产业发展提供资助并大力扶植。 (3) 国防、 空间技术和民用产品有广大的传感器市场。 (4) 在许多高新技术领域可获得用于开发传感器的理论和工艺。 从市场来看, 力、 压力、 加速度、 物位、 温度、 湿度、 水分等传感器将保持较大的需求量。 传感器的市场结构如表1.1所示。 1.2 什么是传感器 1.3 传感器的分类 (5) 按能量关系分类, 可分为能量控制型和能量转换型两大类。所谓能量控制型是指其变换的能量是由外部电源供给的, 而外界的变化(即传感器输入量的变化)只起到控制的作用。 如用电桥测量电阻温度变化时, 温度的变化改变了热敏电阻的阻值, 热敏电阻阻值的变化使电桥的输出发生变化(注意电桥的输出是由电源供给的)。 表1.2列出了传感器的分类。尽管此处列出的传感器分类有较大的概括性, 但由于传感器的分类不统一, 因而这种分类很难完备, 例如有的学者将传感器作了如下分类: (1)压力; (2)力/荷重; (3)位移(厚度); (4)力矩; (5)角度; (6)角速度(转速); (7)速度; (8)加速度; (9)角加速度; (10)倾斜角; (11)编码器; (12)振动; (13)气体/烟雾; (14)温度; (15)热能; (16)湿度; (17)水份; (18)露点; (19)液位; (20)料位; (21)流量; (22)流速 1.4 传感器的性能和评价 3. 灵敏度界限(阈值) 输入改变Δx时, 输出变化Δy, Δx变小, Δy也变小。但是一般来说, Δx小到某种程度, 输出就不再变化了, 这时的Δx叫做灵敏度界限。 存在灵敏度界限的原因有两个。一个是输入的变化量通过传感器内部被吸收, 因而反映不到输出端上去。 典型的例子是螺丝或齿轮的松动。 4. 迟滞差 输入逐渐增加到某一值, 与输入逐渐减小到同一输入值时的输出值不相等, 叫迟滞现象。迟滞差表示这种不相等的程度。 其值以满量程的输出YFS的百分数表示。 5. 稳定性 稳定性表示传感器在一个较长的时间内保持其性能参数的能力。 理想的情况是, 不管什么时候传感器的灵敏度等特性参数不随时间变化。但实际上, 随着时间的推移, 大多数传感器的特性会改变。这是因为传感元件或构成传感器的部件的特性随时间发生变化, 产生一种经时变化的现象。 1. 传递函数 1) 定义 假设传感器在输入输出存在线性关系(即传感器是线性的, 特性不随时间变化)的范围内使用, 则它们之间的关系可用高阶常系数线性微分方程表示: 2) 系统的串联和并联 两个各有G1(s)和G2(s)传递函数的系统串联后, 如果它们的阻抗匹配合适, 相互之间不影响彼此的工作状态, 如图1.4(a)所示, 则其传递函数为 相应的曲线如图1.11所示。 2) 二阶系统的阶跃响应 第一个脉冲的面积为f(0)Δτ,它的响应近似于幅值为f(0)Δτ的脉冲f(0)Δτδ(t)的响应, 即f(0)Δτg(t)。与此相类似, 第二个脉冲的面积为f(Δτ)Δτ, 它的响应近似于第二个脉冲f(Δτ)Δτδ(t-Δτ)的响应, 即f(Δτ)Δτg(t-Δτ)。 其中函数g(t)中的时间滞后Δτ, 是由于第二个脉冲发生在时刻Δτ, 更一般地, 与第n+1个脉冲相对应的脉冲发生在时刻nΔτ, 这个脉冲在时刻t的响应是 为求出h(t)的精确值,令Δτ趋于零; 因nΔτ=τ, 从而n趋于无限大。 这样Δτ→dτ, nΔτ→τ, 从而上述和式便变成了积分式 可见, 系统的时间响应, 就是该系统的脉冲响应与驱 动函数f(t)的卷积。 ? 3) 二阶系统的频率响应 若一个起始静止的系统, 其输入为单位幅度的正弦信号, 则其 得 ? 随着时间的推移, 第
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