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E-Mail探针台说明文件SM-4
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SM-4 探针台说明文件
设备性能描述
机械系统
探针台台体 SM-4
1
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总体规格特点
重量:30KG 左右(带显微镜)。
尺寸:400mm 宽*400mm 长*400mm 高(带显微镜)。
创见性人机学设计,便于操作工程师长时间舒适操作的操作。
探针座台面规格
探针台台面平整度:5µm 。
台面可以同时容纳 6 个探针座。
卡盘(载物台)规格
4 卡盘,卡盘平整度:5µm,采用真空吸附方式吸附,带真空吸附孔,中心孔径最小可做到250 微米(可根据客户需求定制
孔径大小),最小可以吸住尺寸为 0.3mmX0.3mm,最大能够吸住尺寸为4X4 。
卡盘可 30 度旋转,方便点测时样品在 X-Y 轴向上调平。(根据客户需要可定制为 360 度旋转,旋转角度可微调,微调精度为
0.1 度,带角度锁定旋钮)。
卡盘 X ,Y 轴调节旋钮可以控制卡盘做 X-Y 方向的移动,移动范围为 4X4 ,移动精度为 10 微米,配合针座的移动可以保证
wafer 上的 die 都能够准确点测到。
探针座
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