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半导体/FPD/工业检查显微镜 MX Series 为用户提供更高效率 为用户提供最高的效率 满足客户需求是奥林巴斯的第一要务。 正是牢记这一点，奥林巴斯所提供的显微镜解决方案让工业检查变得更轻松、更便捷、 更高效。同时，当将显微镜成功集成应用到生产线上，操作舒适性等人体工程学问题与 晶圆安全问题就显得尤为重要，我们注重解决此类问题。奥林巴斯始终为半导体晶圆、 平板显示器和电子设备等在内的多个行业，提供新构思、解决方案和技术支持。 MX61 MX61L 半导体晶圆检查显微镜（最大200mm)，这款显微镜的孔径光阑与物 这款显微镜用于检查大尺寸样品，例如300mm的半导体晶圆或17英寸 镜相互联锁，能够快速、精确地完成检查。设计符合人体工程学原理 的平板显示器。采用了离合器驱动的手动XY载物台，在反射光照明模 ，使用起来舒适、自如。符合SEMI S2/S8，拥有安全性与可靠性双 式下，操作员可在356mm x 305mm的范围内移动载物台；在透射光 重保障。 照明模式下，操作员可在356mm x 284mm的范围内移动载物台。 MX61A MX51 适合检查300mm样品的电动控制式显微镜。搭载了奥林巴斯Stream 这款经济高效的显微镜能够检查多种器件和晶圆（尺寸不超过150 软件，可电动控制观察模式、照明强度、物镜、孔径光阑和载物台移 mm）。调焦机构和照明强度控制装置相互紧挨，可使用同一只手操 动（可选）。主动式激光自对焦功能提高了检查精度和速度。 作。符合SEMI S2/S8，增强了安全性和可靠性。 2 MX61 系列——半导体晶圆与平板显示器检查显微镜 专为无尘室生产环境设计 拥有多项专门设计的性能，以符合无尘室要求 符合SEMI S2/S8，确保安全性和可靠性 所有电动部件均被封闭在一个屏蔽结构内，而且制造材料均具有出色 MX61系列显微镜完全符合SEMI S2/S8、CE和UL等多项国际规范 的耐磨性，能够完全满足无尘室要求。 MX61系列显微镜最大可检查 和标准。 尺寸为200mm的晶圆，而MX61L最大则可检查300mm的晶圆，两 款具有同样小的占地空间，可减少空间分配需求。 多种晶圆托架，易于调节，可适合不同尺寸的样品 晶圆托架和玻璃台板有150-200mm和200-300mm*1多种规格可供 1 防静电保护功能，防止晶圆污染 用户选择。若生产线所加工晶圆的尺寸发生变化，仅需以极低的成本 改造机身框架即可。MX61系列显微镜有多款载物台可以选用，以对 显微镜机身、镜筒、呼吸罩及其他部件全部采用防静电工艺加工而 生产线上生产的75mm、100mm、125mm和150mm的晶圆进行检 成，以防止污染晶圆。 查。 防静电呼吸罩 晶圆托架和玻璃台板 晶圆装卸安全、快速，有效提高产能*2 MX61显微镜可搭载选配的晶圆自动搬送机，以将硅晶