ROFIN在SNEC上海会展发布高产能PERC激光加工系统DualLine.pdf

ROFIN at SNEC 2014 / Shanghai, China   ROFIN 在SNEC 上海会展发布 “高产能PERC 激光加工系统Dual Line c-Si™” ROFIN 即将发布必威体育精装版一代Dual Line c-Si™激光加工系统，该产品将为下一代PERC 高效电池量 产加工提供改善性产能及更低加工成本方案。 必威体育精装版一代Dual Line c-Si™模块化激光加工平台将在即将召开的SNEC 国际太阳能产业及光伏工程 (上海)展览会正式公布，该展会将于5 月22~24 日于上海新国际博览中心召开，欢迎莅临Rofin 展 位（展位号：厅3 615# ）。 3 年前发布的Dual Line c-Si™已经成功的在全球诸多主流光伏制造商得到安装和使用，主要应用 为PERC 及选择性发射极技术路线，并获得高达1%的转换效率增益同时亦可实现高产及较低的生 产成本。 图1: PERC 电池应用-点阵图形工艺 “下一代工厂”计划-关于次表面损伤方案研究项目 由德国联邦教育和研究部成立的光伏创新联盟“下一代工厂”项目， 致力于PERC 电池核心技术开 发及研究，主要议题包括了基于短波长和短脉冲激光器对于在被接触开窗工艺中次表面损伤层以及 背面钝化工艺方面优化的深度研究。 “研究显示通过皮秒及分秒类超短脉冲激光器在背面介质层消融加工后形成的表面结构呈现出与 纳秒激光器加工完全不同的结果。”位于康斯坦茨国际太阳能能源研究中心工程研发中心的Jens Theobald 介绍说，“然而，经过被场构建工艺后，研究显示通过纳秒绿光激光加工的背面钝化膜 开窗工艺的高效电池性能指标和通过紫外线皮秒激光加工所能达到性能值的达到相同的水平。” ROFIN at SNEC 2014 / Shanghai, China   非常重要的是，我们通过优化制程使用了激光功率高达5 倍于之前所使用的纳秒激光器，大大地缩 短了每片硅片的加工节拍并提高了整机的生产能力，这点对于批量生产而言是至关主要的。 Dual Line c-Si™激光系统通过配备高功率的纳秒绿光激光器及优化的光束模态在不扩大热损区的 前提下可极大的提高激光光斑加工直径。这项正在申请的专利加工技术对于钝化膜开窗点阵工艺可 提供高达20m/s 的激光加工扫描速度，对于PERC 电池点阵工艺路线来说是一项极富意义的重要 突破，激光加工节拍和生产加工成本将大大得到改善。 “飞行加工”工艺对传送时间的优化 Dual Line c-Si™激光系统突出的特征包括了“飞行加工”工艺，全新的系统中将基本消除了每一次 加工周期中硅片传送及转运时间，3600 片每小时的加工速度有效的提升了生产产能。 在Rofin 通过最近收到的在研发及量产型应用的订单，Dual Line c-Si™激光系统展示出实现单晶硅 效率达20%及多晶硅效率达18%并1%转换效率增益的加工能力。 关于更新一步“飞行加工”研发仍在持续进行中，未来可提供高达4000 片每小时的加工产能。 图2，Rofin Dual Line c-Si 为量产PERC 高效电池量身定制 关于ROFIN Dual Line c-Si™ Dual Line c-Si™激光系统基于模块化的平台设计，在全球范围内众多知名光伏制造商得到安装。系 统核心部分基于高精度的大理石平台以支持激光光学和硅片高速传送要求。每台系统装载两套相互 独立的硅片转运及工作轨道。该设备可支持整线连线及单站批次式并配载卡片或者花篮式的上下料 工作模式。 ROFIN at SNEC 2014 / Shanghai, China   关于ROFIN 伴随超过35年的激光业历史经验，Rofin一直致力于设计、生产并推广工业类激光器及面向工业类 材料加工的激光系统，并在该领域处于全球领导地位。基于宽泛强大的技术基础公司专注于为各类 的工业材料加工提供创新性及先进生产技术。公司产品线范围从单个激光源到复杂多元的激光系统 涵盖了所有的关键激光器技术比如CO2 激光器，光纤激光器，固体激光器及半导体激光器，值得 一提的有超短脉冲激光器及从几瓦到高达几千瓦各种功率范围的激光器，并提供各类不同光谱及脉 宽条件及广泛的激光器件产品线。公司总部位于德国汉堡市以及美国密歇根州普利茅斯市，并在美 国、德国、英国、瑞典、芬兰、瑞士、新加坡及中国拥有产品制造工厂。目前Rofin全球范围内拥 有超过49,000 台套激光设备安装量及4,000多名客户分布。公司为NASDAQ上市公司其代码为RSTI， 同时也是德国主板市场位于法兰克福证券交易所上市公司其交易代码为ISIN US7750431022。 Rofi