GB/T 18867-2014电子工业用气体　六氟化硫.pdf

ICS71.100.20 G86 中华人 民共和 国国家标准 / — GBT18867 2014 代替 / — GBT18867 2002 电子工业用气体 六氟化硫 — Gasesforelectronicindustr Sulhurhexaflouride y p 2014-12-22发布 2015-07-01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发 布 中 国 国 家 标 准 化 管 理 委 员 会 / — GBT18867 2014 前 言 本标准按照 / — 给出的规则起草。 GBT1.1 2009 。 。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利 本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任 / — 《 》。 / — , 本标准代替 电子工业用气体 六氟化硫 与 相比 除编 GBT18867 2002 GBT18867 2002 辑性修改外主要技术变化如下: ——— ( , ); 修改了范围 见第 章 年版的第 章 1 2002 1 ——— ( , ); 修改了规范性引用文件 见第 章 年版的第 章 2 2002 2 ——— ( , ); 修改了技术指标 见第 章 年版的第 章 3 2002 3 ——— 、 ( , ); 修改了抽样 判定和复验 见 年版的第 章 4.1 2002 5 ——— 、 、 、 (