以边界元素法研究化学机械研磨制程之维持环对晶-德霖技术学院图书馆.PDF

德霖學報「第27期」   2014年 1月 邊界元素法研究化學機械研磨製程之維持環對晶圓表面不均勻度之影響 以邊界元素法研究化學機械研磨製程之維持環對晶 圓表面不均勻度之影響 1 2 3 林有鎰 邱傳聖 莊惟舜 1 德霖技術學院機械工程系暨創意產品設計系教授 2 元智大學機械工程學系副教授 3 元智大學機械工程學系研究生 摘要 本文以 Brebbia和 Dominquez 推導 Somigliana 恆等式為基礎，導入位移和分佈力的基本解，在忽略 體力作用和考慮定元素的條件下，經離散化後而得到包括晶圓、維持環和研磨墊之邊界積分統御方程式 而建立了一套含維持環機構之化學機械研磨之二維軸對稱準靜態邊界元素模式。結果顯示 (1)晶圓表面 von Mises應力分佈與實驗的表面材料移除率在靠近晶圓邊緣處皆有陡昇的突然變動，然後下降的現象，因此 利用邊界元素法得到的 von Mises 應力，來預測晶圓表面之材料移除率是可行的，(2)研磨墊厚度越厚，不 均勻度越低，(3)維持環背壓增加，不均勻度下降，(4)晶圓與維持環間距愈大，不均勻度愈低。 關鍵字： 化學機械研磨製程、維持環、邊界元素模式、不均勻度 1 德霖學報第 27期 A Study on the Effect of a Retaining Ring Mechanism on the Nonuniformity of Wafer Surface Using Boundary Element Method for a Chemical Mechanical Polishing Process Yeou-Yih Lin 1 Chuan-Sheng Chiou 2 Wei-Shun Chuang 3 1 Professor, Department of Mechanical Engineering and Department of Creative Product Design, De Lin Institute of Technology 2 Associate Professor, Department of Mechanical Engineering, Yuan Ze University 3 Graduate Student, Department of Mechanical Engineering, Yuan Ze University Abstract In this paper, based on the Somigliana’s identity derived by Brebbia and Dominquez, inferring to the fundamental solutions of displacement and traction, and under the conditions that the body force is ignored and constant element is used, the boundary integral governin