使用双波带板径向剪切干涉仪检测非球面透镜.pdf

第 3 1卷 　第 1期 激 　　光 　　技 　　术 Vol. 3 1,No. 1 2007年 2 月 LA SER TECHNOLO GY Feb ruary, 2007 　　文章编号 : (2007) 使用双波带板径向剪切干涉仪检测非球面透镜 1 2 3 1 张 　斌 ,马 　力 ,王 　鸣 ,贺安之 ( 1. 南京理工大学 信息物理与工程系 ,南京 2 100 14; 2. 南昌大学 物理实验中心 ,南昌 330047; 3. 南京师范大学 物理科学 与技术学院 ,南京 2 10097) 摘要 : 为了实现对光学非球面的低成本在线测量 ,在比较和分析现有非球面检测技术的基础上 ,设计并制作了一种小 型径向剪切干涉仪用于检测非球面透镜 。基于波带板可以聚焦成像的原理 ,该干涉仪采用不同焦距的双波带板产生径向 剪切干涉 。波带板由工业缩微矢量图制版技术设计和制作而成 ,并通过实验验证了该波带板的聚焦精度 。采用傅里叶变 换条纹相位分析法对干涉条纹进行处理 ,计算出波相差和波面面形 。实验中给出了平面波光束经过一个非球面透镜后的 ( ) λ ( ) 波面面形检测结果和误差分析 ,使用该技术对标准非球面进行测试 ,波差峰谷值 PV 达到了 / 5 的精度 ,均方差 RM S 达到 λ/ 10 的精度 。结果表明,该干涉仪具有体积小、抗干扰能力强等特点 ,适用于对小型非球面透镜进行在线检测 。 关键词 : 仪器测量与计量 ;剪切干涉 ;波带板 ;非球面 中图分类号 : O438　　　文献标识码 : A A spher ic len s testing by m ean s of com pact rad ia l shear ing in terferom eter w ith two zone pla tes 1 2 3 1 ZHAN G B in , MA L i , WAN G M ing , HE A n zh i ( 1. D ep artm en t of Inform ation Physics and Engineering,N anj ing U n iversity of Science and Technology,N anj ing 2 10094 , Ch ina; 2. Physical Exp erim en t Center, N anchang U n iversity, N anchang 330047 , Ch ina; 3. D ep artm en t of Physics, N anj ing Norm al U n iversity,N anj ing 2 10097, Ch ina) Ab stract: A sp heric su rface te sting techn ique w ith radial shearing interferom eter ha s been develop ed. The p ri