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【2017年整理】微电子学Chap03

北京大学;基于研究的集成电路某分类方法;3. 1半导体集成电路概述;集成电路发展的原动力:不断提高的性能/价格比;集成电路的关键技术:光刻技术(DUV深紫外波段(DUV)光刻技术 );集成电路的制造过程: 设计 工艺加工 测试 封装;集成电路产业的发展趋势: 独立的设计公司(Design House) 独立的制造厂家(标准的Foundary);3.2 双极集成电路基础;Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd.;双极数字集成电路;双极模拟集成电路;3.3 MOS集成电路基础;基本电路结构:CMOS;双极型集成电路 ;;数字电路指标参数 ;噪声容限;;;;抗饱和TTL;;ECL电路;;;I2L电路;;基本电路结构:CMOS;;;基本电路结构:CMOS;Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd.;MOS集成电路 数字集成电路、模拟集??电路;VDD;3.4 影响集成电路性能的因素和发展趋势;3.4 影响集成电路性能的因素和发展趋势;门延迟时间与沟道长度的关系;Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd.;减小互连的途径: 增加互连层数 增大互连线截面 Cu互连、Low K介质 多芯片模块(MCM) 系统芯片(System on a chip);集成电路芯片中金属互连线所占的面积与电路规模的关系曲线 ;互连线宽与互连线延迟的关系;互连技术与器件特征尺寸的缩小 (资料来源:Solidstate Technology Oct.,1998) ;集成电路中的材料;Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd.;小结:Bipolar:;小结:MOS;小结:器件结构;作 业

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