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【2017年整理】微电子学Chap03
北京大学;基于研究的集成电路某分类方法;3. 1半导体集成电路概述;集成电路发展的原动力:不断提高的性能/价格比;集成电路的关键技术:光刻技术(DUV深紫外波段(DUV)光刻技术 );集成电路的制造过程:
设计 工艺加工 测试 封装;集成电路产业的发展趋势:
独立的设计公司(Design House)
独立的制造厂家(标准的Foundary);3.2 双极集成电路基础;Evaluation only.
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Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd.;双极数字集成电路;双极模拟集成电路;3.3 MOS集成电路基础;基本电路结构:CMOS;双极型集成电路;;数字电路指标参数;噪声容限;;;;抗饱和TTL;;ECL电路;;;I2L电路;;基本电路结构:CMOS;;;基本电路结构:CMOS;Evaluation only.
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Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd.;MOS集成电路
数字集成电路、模拟集??电路;VDD;3.4 影响集成电路性能的因素和发展趋势;3.4 影响集成电路性能的因素和发展趋势;门延迟时间与沟道长度的关系;Evaluation only.
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Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd.;减小互连的途径:
增加互连层数
增大互连线截面
Cu互连、Low K介质
多芯片模块(MCM)
系统芯片(System on a chip);集成电路芯片中金属互连线所占的面积与电路规模的关系曲线 ;互连线宽与互连线延迟的关系;互连技术与器件特征尺寸的缩小
(资料来源:Solidstate Technology Oct.,1998)
;集成电路中的材料;Evaluation only.
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