Clean Room介绍.ppt

Clean Room介紹 報告日期：87.3 離 開 繼 續 一、何謂無塵室clean room? 一個房間或工作區域其內部空氣之落塵(Particle)用 人為之控制使其數量在一定數目中稱為無塵室 二、clean room之等級 無塵室等級區分依美國聯邦U.S.Federal Stander 209E，針對落塵量分為六個等級 廠內clean room作業區依製程需求可分三類： 　A類：無塵等級為十萬級環境不控制 　　 如鉚釘室、P.P倉、銅皮倉、印刷、綠漆曝光室 　B類：無塵等級一萬級 　　　　 如內外層曝光室、疊板室、網版製版、乾膜倉 　C類：無塵等級一千級，如繪圖區、暗房　 前一頁 繼 續 * * * 三、Clean room之設計 須考慮clean room之等級、溫濕度之控制、生產項目和使用設備分析與規劃、建築結構與位置、防火、耐震、管路之考量、監控系統之維持等 1.air flow系統 1-1.分亂流系統(turbulent air flow)及垂直層流系統 (vertical laminar) 1-2.空調系統設計 a.溫度控制：21?20C。 b.溼度控制：55?5%RH。 C.出口風速：0.5M/sec。 D.clean room吶之正壓值1mmAg以以上 e.在class1000和10,000需做末端過濾， class100,000可做集中過濾 前一頁 繼 續 * * * 　1-3.過濾器類型： 　　a.前置過濾器：有初級過濾網(pre filter)，主要過濾 較大塵埃，以延長高效過濾網(HEPA)之壽命 b.高效過濾網(HEPA FILTER)：其效率可達0.3?m99.99% 以上DOP，送入clean room 之空氣須經過此過 濾網完成最後過濾 c.可於clean room中再擺設無塵操作台(clean bench)， 可確局部清淨度 2.地板、外牆、天花板： 2-1.地板； 　　 分兩類EPOXY地板及高架地板。 a.EPOXY地板：分底塗、中塗、面塗三道施工，須 不起塵、不滲透、耐磨、耐化學藥品。　　 前一頁 繼 續 * * b.高架地板：應用於無塵等級一千級。優點為地面佈線 方便。地面底層EPOXY，地板高架，結構採鋁合金地 磚，表面貼導電地磚或防靜電面磚。 2-2.外牆(天花板) a.須不起塵、完全密封、容易清潔、平滑無縫。 b.EPOXY塗膜厚1.5mm，分底塗、中塗、面塗三道施工。 2-3.隔間牆(天花板)：材料須選用不起粉塵、防火、耐 用、易清潔之材質，使用彩色烤漆鋼板內充PU發泡。 3.參觀窗： 　無塵室內面加黃色壓克力板。窗框與玻璃須不洩漏。 前一頁 繼 續 * 4.照明： 　無塵室內採用黃色燈源 5.其功能有氣鎖(air lock)，人員管制，及以高速風將附著在人體或物品上之塵埃吹落帶過功能，具備自動連鎖電鎖。 6.Pass Box傳遞箱： 　目的將物料傳進或傳出。其功能有氣鎖(air lock)、人員管制。設置於clean room之隔間牆上，連接clean room內外。具備連鎖(inter lock)功能 7.輸送帶設計： 　設置於clean room之隔間牆上，連接clean room內外。以air curtain及過濾網過濾空氣。 前一頁 繼 續 * 四、無塵衣選用標準設計 為何要穿無塵衣 一般無塵室最大塵埃染源54%是人體所產生。一作業員連續行走一小時(0.35km/hr)，塵埃約增加100,000個/Ft3，若穿著大衣式無塵衣可減至24%，全套連身式可減至3% 1.質料要求： 　　a.表面不發塵、塵粒不易附著、不滲透、纖維不易 脫落、斷裂、不生靜電、耐藥品性、耐洗及高溫 高壓、不易皺、不變形。 b.柔軟、透氣、透明度低、容易縫製者。 2.縫製： 　　 縫製時須考量車線之材質、縫製法。接片使用三針內外包光法或內部滾邊法，袖口褲管反下擺收邊用摺邊包光法。布邊在衣服內外皆不可外露。　 　 前一頁 繼 續 * * 五、clean room之驗收 無塵室之驗收可分以下三種狀況來測試 ：　 　1.工程完工時之無塵室：空週系統運轉，但無機械設備。 　2.停止工作之靜態無塵室：空調系統運轉，設備已定位且在