Macro 资料2.0.ppt

合肥鑫晟光电科技有限公司 * 合肥鑫晟光电科技有限公司 Macro 资料 2013.11 目录 一 、基础知识篇作 01 二、操作规范篇作 02 三、安全规范篇作 03 四、常见Mura篇作 04 一、基础知识篇 1.Macro设备作用： 在各种光源照射下，人通过操作机台调整玻璃位置，用肉眼检查玻璃基板上的宏观 缺陷（涂布不均、异物、划伤等）。 2.Macro数量： Inline 12台（抽检），Offline 3台，Final 16台（全检）。 3.Macro主要结构： Stage，照明单元，Touch Panel，Control PC，Auto Focus PC，Laser Point ， KVM等。 4.M/H灯颜色： 白、橙、黄、绿。通过顶灯的Miracle glass，可以实现Focus和Diffuse两种状态。 5.BM层使用M/H 白灯，BGR层使用M/H绿灯，OC层使用NA灯（Diffuse），PS层 使用手持灯检查（灯光从M/H上接过来）。半透找位置，全透做判定。 一、基础知识篇 6.Stage轴动可以分为上下（Sliding），前后（Moving），翻转（Rolling和 Pitching）运动。 7.背光灯主要用于检查有无巨大缺陷、未涂布部分、未曝光部分，未曝光RGB层基板 颜色分别对应偏黄，偏紫，偏青。 8.由于Na灯和M/H灯的开启时间比较长，一般在检查过程中不会关闭，只需要在不 使用时关闭灯箱Shutter即可。 9.Touch Panel 上功能键有：基板Map图、Glass 排出键、基板判定键。 10.Macro中有3个Na灯箱，2个金属卤素灯灯箱。 11.机台Z向移动采用气缸驱动，内外圈转动采用马达转动。 12.设备Stage上共有36个真空吸盘，4个辅助基准，4个推进基准，10个Clamp。 一、基础知识篇 ①：为Mura图片显示器。能够选择显示 前工序的Mura图像，以供Macro作 业员参考。 ②：Macro PC显示器。显示Macro软件， 供Recipe编写和Glass、Panel判定， Glass交换片操作使用。 ③：VCR显示器。显示VCR读取结果，确 认镜头位置使用。 ④：人机画面及设备状态显示。供手动按 键操作Macro各轴，设定各轴参数， 显示设备通信状态及信息。 ⑤：手持控制器。供Macro使用人员更方 便操作Macro。 ① ② ③ ④ ⑤ 二、操作规范篇 三、安全规范篇 注意事项： 1.Macro检查时，不建议拉开幕布透气透光； 2.人员上爬梯时必须系好安全带； 3.注意保护眼睛，不建议长时间盯着基板看，但是要注意设备运行状况，注意不能闭 目休息； 4.手持灯、气枪的位置不能随意摆放，不要随意玩弄气枪。 安全事项： 1.当人员或者设备发生危险情况下，要立刻按下紧急按钮，以避免发生人员或者设备 的损伤； 2.Interlock作为连锁装置，是在门窗上使用的。当门窗被打开时，设备会自动停止 运行，与EMO有相同作用； 3.光闸作为保护装置，一旦触发，设备就会停止。人员不要伸出手超过光闸部分查看。 四、常见Mura篇 设备名称 造成Mura 涂布机 1.异物Mura 2.涂布横线 3.Sharp横线 4.未涂布 5.粒状Mura 6.竖线 7.涂布前后端不良 8.等高线Mura 9.Edge PR残留 等 显影机 1.显影Mura 2.显影竖线 3.过显影 4.显影停滞 5.手掌Mura 6.显影横线等 曝光机 1.蝴蝶Mura 2.Spot Mura 3.Mask共同缺陷 4.Miss Align 5.Exp Stage Mura等 四、常见Mura篇 BGR颜色混色后的感官效果： B+R-(紫色); B+G-(青色); R+G-(黄色); B+G+R-(白色) Process 测定项目 BM BM CD OK: Range 0.7um BGR BGR 色度 OK: Rx Range 12/10000 Gy Range 20/10000 By Range 8/10000 涂布前后端色度OK: Rx Range 45/10000 Gy Range 60/10000 By Range 30/10000 膜厚断差OK: G-R 0.2um B-G 0.2