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微纳研究与制造中心
厂商手册
（版本号 1.0）
2014.03
中国科学技术大学
安徽 合肥
厂商手册 目录
目录
第一章 总则 1
1.1 申请和培训 1
1.2 管理规章制度和处罚 1
第二章 微纳研究与制造中心介绍 2
2.1 概述 2
2.2 功能区域划分 2
2.3 厂商申请 3
2.4 附表 4
第三章 洁净室操作规范流程 7
3.1 作业人员出入洁净室的基本要求 7
3.2 洁净室更衣操作流程 7
3.3 设备、材料临时存放要求 11
3.4 设备、材料、工具搬入流程 11
3.5 现场管理规范 12
3.6 离场要求 13
第四章 设备安装调试厂商技术要求规范 14
4.1 新设备搬入前准备工作 14
4.2 设备搬入洁净室规范流程 15
4.3 设备安装调试规范流程 16
4.4 验收撤离 17
第五章 设备维修保养厂商技术要求规范 18
5.1 入场施工前事项： 18
5.2 人员工具进入规范 18
5.3 安全卫生注意事项 19
5.4 人员材料撤离规范 20
第六章 二次配厂商技术要求规范 21
厂商手册 目录
6.1 排放系统二次配技术规范 21
6.2 制程真空管二次配技术规范 25
6.3 排气系统二次配技术规范 30
6.4 气体二次配技术规范 33
6.5 冷却水/制程真空二次配技术规范 43
6.6 电力系统二次配技术规范 49
6.7 超纯水二次配技术规范 58
第七章 厂商违规惩罚条款 66
第八章 批准和解释 68
第一章 总 则
第一章 总则
本手册主要提供中国科学技术大学微纳研究与制造中心关于设备搬入、二次配施工、设备维修保
养等进入洁净室厂商的操作规范和安全防护等有关规定。本手册适用于所有在本中心洁净室内进行的
新建、改扩建、检修、维修、工艺设备搬入、工艺设备二次配等施工作业的全过程，包括但不限于进
行用火作业、进入设备作业、高处作业、临时用电作业、破土作业、建筑施工、装置维修、设备防腐、
管线保温、场地清理等各种作业。为保障洁净室内用户及厂商人员自身的人身安全，以及洁净室微纳
加工仪器设备的正常运行，所有申请进入洁净室的厂商人员（包括厂商管理人员、临时访问人员、检
修人员、各类作业人员等）均有义务仔细阅读、准确理解和遵守本手册的相关规定。
1.1 申请和培训
任何需要进入中国科学技术大学微纳研究与制造中心所属洁净室、辅助动力区域检修、搬入、施
工的厂商均需事先完成相应的申请和审批流程，中心将根据情况安排厂商人员参加培训，将重点培训
以下（不限于）内容：洁净室基本概况、基本服装要求、行为准则、安全规定和操作流程，以及施工
规范、违规行为及相应处罚等。该培训为厂商进入作业的强制性规定之一，即上述人员必须接受培训、
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