【2017年整理】PECVD介绍.ppt

To Power Our Future; 目 录; 定 义;;;;;;;钝化太阳电池的受光面;;;;;;沉积时间的不同膜厚也是 不一样的要根据镀膜的颜色来 适当的增加或减少它的沉积时间，片子发白要减少沉积 时间，如偏红则要适当的增加。每一舟片子要全面的 确认，不允许把不良品流入到下道工序，如色斑、水印 镀膜不良，应及时挑出做返工处理。 ;;;;Handing界面的介绍 ;BOAT信息设置方法介绍 ; ;舟号 ;此舟的当前实际位置 ;工艺号选项,选择当前需要进行的或者已经 在进行的工艺号,后面Recipe error 前面若是有红色X请点击后取消它 ;如果出现下列的信息,就表明你设定的信息 系统可以接受,但是你必须对你所设定的信息 再次进行确认,如果不能显示此信息,就说明 你设定的是错误的,系统将会自动跳转到你 设定错误的那一步,要求你重新进行设定。 ;特殊情况下如何进行手动关门 ;3）打开门，将此炉门气动阀上的两个气管拔下，上面的调节阀不要动。并将气管的头对折后用紧扎带绑紧，防止压力阀开启后漏气。 ;PECVD工艺流程; 10.wait until all zones are on min .temperature 恒温 ;19.unloading boat 退舟 20.end of process 结束工艺 PECVD操作注意事项（下面罗列的每一项都有可能导致石墨电极损毁或者设备损坏） 1.SLS处于“UP”位置时，管内有舟时不可手动进桨。 2.SLS处于“Down”位置时，桨上有舟时不得手动进舟。 3.桨上有舟时,舟不在正确位置,不准切换到自动运行状态。 4.进舟，退舟失败报警时，一定要检查舟的位置是否在合理的位置，才可以对报警进行复位。自动/手动的切换要谨慎。若舟不在正确位置， 请手动移动到正确的位置后再对报警进行复位（炉门是以桨的位置作为开闭的标准）。图（4）（5） ;5.舟位于存储架（storage2，storage3）时，一定要确认存储架上的感应器有没有感应到。图（2）（3），否则有可能导致撞舟。 6.清理碎片时要注意热探针（两根玻璃棒）清理结束后一定要将热探针放于管子的中间位置，否则进退舟时有可能被撞掉。图（6） 7.从手动切换到自???状态时，机械臂一定要在Middle位置，否则机械臂有可能无法正常运行而报警。图（7） 8.进退舟时，小车不得混用，并且务必确认小车有无被缩定。 9.进舟后，工艺无法正常运行时，先确认舟在桨上的位置，以及Tube=ready，SLS=up，TGA=yes，然后进行其他操作 10.小车被锁定后，不得转动石墨电极的方向。图（7）否则石墨电极会撞到桨或者机械臂 11.石墨电极的电极孔方向在进舟时不得搞错，否则有可能撞坏高频的两根电极。;真空管;气体;舟;1、Manual Tab Vacuum Tube Pressure ;4、Manual Boat Position Setpoint 输入10; 一.舟的安全 1.在推舟过程中，必须双手操作，应采取轻、慢、稳，在规定的区域内推车。 2.进出舟时必须有人看守机器，防止机器发生故障而导致不必要的安全事故。 3.小车上的石墨舟在无人的情况下必须是水平放置以防石墨舟倾斜掉落。 4.取舟时必须是双人操作，二人抬舟放于小推车上。 ;二：特气的安全;岗位安全;紧急救助 由于硅烷泄漏引起人员灼伤应由受过培训的人员进行 急救，并立即寻求医疗处理，眼睛接触：应立即用水冲洗至少 15分钟，水流不要太快，同时翻开眼睑，使受难者为“O”形眼， 立即寻求眼科处理；吸入：将患者尽快移到空气清新处，如有 必要由受过培训的人员进行输氧或人工呼吸。皮肤接触：用大 量的水清洗至少15分钟，脱掉已暴