GB/T 26112-2010微机电系统(MEMS)技术　微机械量评定总则.pdf

ICS31．200 L55 雪雷 中华人民共和国国家标准 GB／T 微机电系统(MEMS)技术 微机械量评定总则 Micro-electromechanical systemtechnology— forthe of Generalrules assessmentmicro-mechanical parameters 201 2011—01—10发布 1—10—01实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局岩右 中国国家标准化管理委员会及1” 标准分享网 免费下载 26112—20101．1 GB／T26112—2010 微机电系统(MEMS)技术 微机械量评定总则 1 范围 本标准规定了微机械量的评定基本原则、评定要素、评定程序、评定方法以及评定规则。 本标准适用于企业、研究机构、检测机构从事微机电技术及产品的研究、设计、生产、检测及使用。 2规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本 文件。凡是不注日期的引用文件，其必威体育精装版版本(包括所有的修改单)适用于本文件。 26111 GB／T 微机电系统(MEMs)技术术语 3术语和定义 GB／T 2611l界定的以及下列术语和定义适用于本文件。 3．1 micro_mechanical 微机械量 parameters 泛指一切与微机械性质和状态相关的物理量，包括几何量、流量、温度、声学、力学和运动等物理量； 由于几何量、流量、温度、声学等物理量进行了专门的分类，因此微机械量是指位移、速度、加速度、振动 等运动特性参量，以及与运动特性相关的力学参量。 3．2 Mjcroscale 微位移 displacement 描述质点在微米级尺度下位置变化的物理量，其大小等于起点至终点的直线距离，方向由起点指向 终点。 注1：微结构在受到一定激励的条件下会产生位置的变化，典型的位置变化有两种形式，平移和转动，分别对应线位 移和角位移。 注2：如果将微结构基底作为一个参考平面，与这个参考平面面平行的位移为面内位移，否则称为离面位移。 3．3 振动vibration 物体的往复运动。按照往复运动的方向可分为线振动和角振动。评定微结构的振动特性主要包 括；振动幅度、谐振频率、振动模态、品质因子。 3．4 stress 残余应力residual 在微加工处理完成后，在没有外力的作用下，在微机械结构内部保持平衡而存留的应力，称为残余 应力，是内应力、外应力和热应力的综合作用。 3．5 应力梯度 stress FadieⅡt 微机械结构残余应力在厚度方向的非均匀分布，悬空式微机械结构在下部牺牲层释放后会由于残