光伏硅晶圆加工.PDF

高性能特种产品 环氧胶粘剂 - 聚合物固定梁 - 配方洗涤剂 单晶硅晶块修边 VALTRON AD4000 双组分临时粘合胶粘剂，设 热脱离环氧体系 计专用于单晶硅或多晶硅晶 块修边。 VALTRON晶块固定板 独特的复合聚合树脂，设计 AD4000 系列 环氧树脂胶粘剂 用于每切一片时都能对锯片 进行自我修整。可固定于线 锯，消除对玻璃和其它基板 修边之后当加热时单晶硅晶块很容易从胶粘剂和固定 的需求。 器上脱离。 晶块固定以进行晶圆切片 VALTRON 复合聚合物固定梁，用于光伏晶圆加 光伏切片梁 工，特别是金刚石线锯切片。独特的 表面纹理促进更强的胶粘剂粘合和尺 寸稳定性。 VALTRON AD1339-A / AD3905-B 双组分快速固化环氧体系，用于粘合 快速固化晶块 光伏晶块以进行切割液切片。 固定胶粘剂。 VALTRON晶块固定胶粘剂涂覆于光伏切片 梁上以进行晶圆切片。 VALTRON AD1846-A / AD1846-B 双组分中粘度环氧体系，用于粘合光 中粘度快速固化晶块 伏晶块以进行金刚石线锯切片。 固定胶粘剂。 有关配方洗涤剂，请参阅封底。 切片后的晶圆准备脱胶。 晶圆卸除及清洗 切片后清洗 VALTRON DP146 高纯度、低发泡碱性洗涤剂，具有良好的清 低泡碱性 洗和漂洗性能。 洗涤剂。 VALTRON SP2260 配制用于快速和有效地渗透和去除污染物。 碱性洗涤剂 脱胶 用热水和VALTRON洗涤剂的溶液将晶圆从光 VALTRON DP164 配制用于光伏晶圆的胶粘剂脱胶和初步 伏切片梁上脱下。 用于光伏晶圆的 清洗。 胶粘剂脱胶和 清洗液。 预清洗 VALTRON DP146 用于有效清洗的通用洗涤剂，不留下任何有 低泡沫碱性 机或无机残留物。 洗涤剂。 VALTRON SP2260 配制用于快速和有效地渗透和去除污染物。 用VALTRON洗涤剂进行晶圆的超声波清洗。 碱性洗涤剂 最后清洗 VALTRON DP184 有效地清洗和去除金刚石线锯和碳化硅切割 用于光伏晶圆清洗的 的硅锯痕、切割液和磨料副产物。 碱性洗涤剂。 VALTRON DP187 配制的低泡沫碱性洗涤剂，用于光伏晶圆的 用于光伏晶圆最后 最终清洗以及去除常规洗涤剂通常难以去除 清洗的低泡沫碱性 的污染物。 洗涤剂。