激光打标中振镜几何畸变误差多项式拟合校正_彭留永.pdf

37 5 激 光 技 术 Vol． 37 ，No． 5 第 卷 第 期 2013 9 September ，2013 年 月 LASER TECHNOLOGY 文章编号:1001-3806 (2013)05-0601-04 激光打标中振镜几何畸变误差多项式拟合校正 1 2 1 1* ， ， ， 彭留永 王宣雅 周建涛 裴红星 (1. ， 450001 ;2. ， 47 1100) 郑州大学物理工程学院 郑州 河南煤业化工集团洛阳永龙能化有限公司 洛阳 : 2 ， ， 摘要 为了消除激光打标系统中由 维振镜物镜前扫描引起的打标点几何畸变误差 分析误差产生的原因 (，) ， ， (x ，y ) 在振镜扫描角度 α β 理想计算公式的基础上 采用最小二乘曲线拟合的方法 得到用打标点坐标 表示的补 (，) ， 。 ， 偿 α β 误差的拟合多项式 从而对激光打标点的畸变误差进行了校正 通过校正 可以将激光打标点的最大几何 3. 2mm 20 m ， 、 。 ， 、 畸变误差由 降至 μ 以内 且计算量小 速度快 结果表明 该误差校正算法可以满足高速 高精度激光 ; ， 。 打标的需要 同时可通过改变物镜焦距计算出新的补偿公式 以应用于不同参量的激光打标系统 : ; ; ;2 ; 关键词 激光技术 激光打标 多项式拟合 维振镜 误差校正 中图分类号:TN249 文献标识码:A doi :10. 7510 /jgjs. issn. 1001-3806. 2013. 05. 009 Polynomial fitting correction of galvanometer geometric distortion error in laser marking PENG Liu-yong 1 ，WANG Xuan-ya2 ，ZHOU Jian-tao1 ，PEI Hong -xing 1 (1. School of Physics and Engineering ，Zhengzhou University ，Zhengzhou 450001，China ;2. Luoyang Yonglong Energy Limit- ed Company ，Henan Coal Chemical Industry Group ，Luoyang 47 1100 ，China)