硅烷泄露灭火注意事项.doc

半导体技术天地s Archiver 半导体技术天地 ? Facility System[半导体厂务系统] ? Specialty Gas and Bulk Gas[特殊气体和大宗气体] ? SIH4,PH3/H2消防喷淋头的标准!~~ glen1289 发表于 2007-9-3 10:35 SIH4,PH3/H2消防喷淋头的标准!~~ SIH4,PH3/H2的GC需加装喷淋头,不知道这方便有什么标准?开放式?设定温度? 我热情似火 发表于 2007-9-9 22:22 喷淋头简单，就是普通的蜡封得喷淋头，不过质量要好不能随便漏水，还有在GC里是头朝下放的，温度高融掉就喷水，不需要设定什么温度控制，但这种可燃性气体柜，一般都会安装温度SENSOR并与GC INERLOCK，而且像SIH4这种自然且易爆的气体，光温度控制都太危险了，得安装红外-紫外线（UV-IR）双重扫描的火花侦测器，其光束应该覆盖整个GC盘面所有可能泄漏的位置，而且其量程设置应该侦测到比气体侦测器侦测范围更小的气体泄漏，用以监控任何可能产生的火花并触发相应的互锁，以确保厂房及人员的安全。 svfcorp 发表于 2007-9-9 22:26 回复 #2 我热情似火 的帖子 不错，正想找这方面的资料呢！谢了！ himouse 发表于 2007-9-10 08:50 回复 #2 我热情似火 的帖子 而且其量程设置应该侦测到比气体侦测器侦测范围更小的气体泄漏(]~ _ FH B UV/IR 是 测到高温及火焰后报警 ，已常见的硅烷为例， 硅烷闪点1.4% ，此浓度以上才会出现火焰才能被UV侦测到，而气体侦测器可在着火之前 2.5ppm就可以设置报警了。所以楼上说的不完全对咯。MI:kaMF|
XcA%X !w LxY ASm[[i] 本帖最后由 himouse 于 2007-9-10 08:52 编辑 [/i]] 我热情似火 发表于 2007-9-10 20:20 [quote]原帖由 [i]himouse[/i] 于 2007-9-10 08:50 发表 [url=/bbs/redirect.php?goto=findpostpid=603662ptid=333813][img]/bbs/images/common/back.gif[/img][/url]pw4X H(]Az$A 而且其量程设置应该侦测到比气体侦测器侦测范围更小的气体泄漏/h!A/u;gQUV/IR 是 测到高温及火焰后报警 ，已常见的硅烷为例， 硅烷闪点1.4% ，此浓度以上才会出现火焰才能被UV侦测到，而气体侦测器可在着火之前 2.5p ... [/quote](vLqrv1WIt 7]!q` IJ Q O1@lUj-}!D4X0k不好意思，UV/IR我是看得那个“半导体代工厂的特气供应系统探讨”里面5（3）的内容，纯属引用，我想它的意思就是如果气体瞬间发生泄漏，哪怕量很小，只要与空气反应产生一点火花它就能立马侦察到，1.4%是硅烷理论得爆炸下限，而不是闪火点，即使在1%的浓度下也不能绝对保证SIH4不会跟空气发生反应，这个气体特性比较怪异，而且气体泄漏侦测器侦察到的是已经被稀释了的浓度，但它实际泄漏出来的时候可能还没扩散开就已经发生自燃，气体侦察气反应时间最起码要好几秒钟，是很危险的，其实SIH4的侦察器装了没有多大意义，要装装SIO2的，倒差不多，个人意见！ himouse 发表于 2007-9-11 22:24 :P 没有SiO2 侦测器吧  } ?2u_N!d#jL|E G 研究发现? x
ay%Q zK8R n-E 硅烷跟氧气的摩尔比在1：2.3，压力为0.6Pa时，它们不会发生任何反应，此时即便温度升高到70保持几天反应也不会产生。但是如果此时稍微加一点压力或者温度升高一点点的话，爆炸会立刻产生。:UE g3JK g硅烷最大的危害就是它释放到空气后的不可预测性1}8gmw8@%Vm0`_硅烷被释放时经常出现不燃烧的情况。FM Global经过测试发现: 硅烷在33psig的压力下从1/8”的管子释放，12次中有11次不会燃烧。即使在7.8psig也是如此.而从1/4”的管子释放不会燃烧的最低压力为70Psig.1?/i3P[r*ki%Zo
h硅烷在高的流速下释放也不会立刻燃烧mmX3Ki R!Y低压状态下直径较小的管子中释放硅烷也不会导致燃烧RV Zj
N cFs(L 很少量的硅烷泄漏没有任何无明显的迹象，只能用测漏仪或者肥皂泡检测。ls!y _ R gb 有时肥皂液可以被用来检测硅烷的泄漏，但是这样会导致硅烷气体堆积在肥皂泡内，随着肥皂泡的破