HORIBAEMAX-ENERGY使用规范.doc

电子显微镜S-3000N操作手册 SEM开机 请依照下列程序开启电子枪体及操作系统，我们可由以下整理齐全 的开机程序来进行开机。 (1) 开起冷却循环水，确认水流量设定在1至1.5公升/分钟 的流量，水流量计在电子枪体之左侧。 (2) 打开NFB(在配电盘上)主电源开关。 (3) 打开EVAC POWER真空系统电源开关，打开后RP会开始运转，真空操作面板上的LOW指示灯及WAIT指示灯会亮。 (4) 将真空控制板上的EVAC/AIR按键，押至EVAC位置。 NOTICE：大概约20分钟左右WARM UP灯会熄灭，自动真空系统启动， 抽至高真空时HIGH的指示灯会亮。 (5) 将DISPLAY POWER开关打开。 (6) PC进入操作系统。 (7) 上步骤(6)做完之后，下一步会进入user name及Password，输入正确的使用者名称及密码注册后，随及进入操作画面。 使用者名称：PC-SEM 密 码：没有设定 user name和passward设完成后将OK按下即可进入(请不要设定Administrator的密码)。 SEM样品置换 (1)请确认HV是否关掉，若无将HV OFF。在取出样品之前样品轴五轴要归位(Tilt:0,Z轴:白点对白点,X轴:30,Y轴:20,Rotation:随意) (2)在关掉高压等待5-10分钟之后,将真空控制板上EVAC/AIR按键， AIR，此时LOW的指示灯亮，真空室内进入空气，样品室将会破真空。 (3) 等待2-3分钟,样品台与样品室有明显缝隙后,顺着样品台轨慢慢轻柔的将样品座拉出(在等待时间内,请不要用力向外拉样品台)。 (4) 将样品放置于样品座上面顺时针旋紧至固定牢靠,使样品的上表面与标尺的中间刻线齐平,后把样品轻轻的放入样品台,使样品固定环的上表面与样品固定槽座的上表面齐平。请再此确认样品轴五轴归位. (5) 将放置好样品的样品台，轻轻推回主体之样品室内，用手推样品台,使样品台与样品室门压在一齐.后将EVAC/AIR之开关切至EVAC,直到机台后马达声响起后,把手松开。 NOTICE：如果背向散射电子侦测器是在放入的位置，注意Ｚ轴(W.D)的位置在10mm至35mm和T轴是0°，再进入样品室内。 (6) 等待高真空(High)指示灯亮起(大约3到4分钟)。 (7) 当真空计于操作屏幕上颜色出现蓝色，则HV的按键出 现于工作列上，此时可加加速电压然后操作观察影像。 导电性非导电性样品的观察 导电性样品可以在高真空下观察SE影像 BSE影像， 低真空下只能观察BSE影像.不会有放电现象发生 非导电性样品,只能在低真空进行BSE观察，在高真空情况下,样品会发生放电现象 SE BSE影像的区别 SE 只能在高真空下进行观察，BSE不但可以在高真空下进行观察,也可以在低真空下观察 SE 观察的是样品表面结构像,BSE观察的是样品成分像 SE像的分辨率比较高，容易观察；BSE像的分辨率比较差，不易观察。 SE影像观察 通过Signal select按键选择信号为SE，设置好样品后，把样品放进样品室进行抽真空 3分钟后真空面板上High 灯会亮,显示器上真空状态条由红色、绿色、变成蓝色 HV出现，样品室内达到真空状态，便可操作。 加上高压(在HV按键上按一下，高压便会自动加上) 注意有无发射电流存在 15KV 60-90 20KV 70-120之间(若没有请参考常见故障排除) 确认Movable aperture 是否在第三孔,否请拉至第三孔. 设置扫描模式为快扫描方式 TV1 (影像调节时跟随性较好),把放大倍率设定在最低的位置. 手动调节亮度、对比度或执行亮度对比度自动调整 调节样品在样品室中的位置，建议调节在15mm,便于EDS分析用，调节机械轴Z轴使其对准15位置处.(注意;制作样品时,样品的表面要和标尺的中间刻线齐平,向样品室放入样品时,一定要把样品放进样品台槽座中.要保证样品在样品室中工作距离要在15-35mm之间) 焦距粗调整,把SEM画面上WD设定在15左右,画面上就会有图像出现.如若没有请参考常见没有图像解决办法 反复调节样品台上的X Y 机械轴,寻找样品的边缘或样品上比较大的异物,对其进行调节焦距,增加倍率,直到能够找到我们想要观察样品上的微颗粒为止 设定影像调节倍率.调节倍率要高于我们欲观察的倍率(拍照倍率) 把倍率调节到影像调节倍率,轻轻调节Focus 判断有无影像移动.有则启动Aperture alignment 窗