光学气浮隔微振平台技术基本要求.docVIP

ICS17.020 A52 备案号： DB23 黑龙江省地方标准 DB 23/ XXXXX—XXXX 光学气浮隔微振平台技术基本要求 Optical platform with air floating vibration technology basic requirements XXXX - XX - XX发布 XXXX - XX - XX实施 黑龙江省质量技术监督局发布 目次 前言 III 1　范围 1 2　规范性引用文件 1 3　术语和定义 1 4　型式与基本参数 2 4.1　分类 2 4.1.1　控制类型 2 4.1.2　平台结构类型 2 4.2　基本参数 2 4.2.1　供气气源参数 2 4.2.2　供电电源参数 2 5　技术要求 2 5.1　正常工作环境条件要求 3 5.2　外观和结构要求 3 5.3　固有频率 3 5.4　振动传递率 3 5.5　平台表面平面度 3 5.6　承载 3 5.7　平台浮起不感带范围 3 5.8　平台浮起稳定时间 4 6　检验条件 4 7　检验方法 4 7.1　外观质量 4 7.2　外形尺寸 4 7.3　隔振性能指标检验方法 4 7.3.1　固有频率检验 4 7.3.2　振动传递率： 5 7.4　平台浮起不感带 5 7.5　平台表面平面度 5 8　产品出厂检验 5 9　标志、包装和使用说明书 5 9.1　标志和标签 5 9.1.1　每个产品应有铭牌或相当于铭牌的标志，应清晰、牢固地标明下列内容 6 9.1.2　所有标志均应规范、清晰和持久 6 9.2　产品使用说明书 6 9.3　包装和运输 6 9.3.1　包装 6 9.3.2　运输 7 前言 本标准编制过程中主要依据GB/T1.1-2009进行。 本标准为新制定标准，目前没有与之等同的国际标准、国家标准及行业标准。 请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。 本标准规定了本系列产品生产过程中应共同遵循的基本原则。 本标准的目的在于帮助读者对光学气浮隔微振平台标准的使用有一个基本了解。 本标准提出并定义了用于光学气浮隔微振平台的通用概念。 本标准对制造商进行光学气浮隔微振平台特性评价并提出技术要求有指导意义。 本标准对制定光学气浮隔微振平台标准有指导作用。 在阅读或使用光学气浮隔微振平台标准时应随时参考本标准。 本标准由黑龙江省质量技术监督局提出并归口。 本标准负责起草单位：哈尔滨工业大学、国家量仪产品质量监督检验中心。 本标准参加起草单位：哈尔滨超精密装备工程技术中心有限公司。 本标准主要起草人：谭久彬、王雷、韩正阳。 本标准参加起草人：赵勃、崔俊宁、田丰。 光学气浮隔微振平台技术基本要求 范围 本标准规定了光学气浮隔微振平台的术语和定义、型式与基本参数、要求、检验方法、标志与包装等。 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其必威体育精装版版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T 23717.1-2009 机械振动与冲击 装有敏感设备建筑物内的振动与冲击 第1部分：测量与评价。 GB/T 23717.2-2009 机械振动与冲击 装有敏感设备建筑物内的振动与冲击 第2部分：分级。 GB/T 14412-2005 机械振动与冲击 加速度计的机械安装。 GB 50463-2008 隔振设计规范。 GB/T 20029仪器、设备用橡胶隔振垫。 GB/T 12085.13-2010 光学和光学仪器环境试验方法第13部分：冲击、碰撞或自由跌落与高温、低温综合试验。 GB/T 11337-89 平面度误差检测。 术语和定义 JJF1001-2011、GB/T 17163-2008 及International vocabulary of metrology-Basic and generalconcepts and associated terms(VIM)中确立的以及下列术语和定义适用于本标准。 3.1 隔振器 vibration isolator 具有衰减振动功能的支承元件。 3.2 阻尼器 damper 能量损耗的方法减小振动幅值的装置。 3.3 振动传递率 vibration transmissibility 在正弦扫描振动时，某一频率下振动系统的输出量（力、位移、速度或加速度）与同量纲的输入量的比值。对于非线性隔振系统还应注明振动输入的量级。 3.4 固有频率 natural frequency 由系统本身的质量和刚度所决定的频率。 3.5 平台浮起不感带 non-operation band of air bearing vibration isolation 平台浮起后各支撑点的高度差