310-6000系列分析探针台.PDF

6000系列分析探针台 院系：信科学院 仪器 所属 微米纳米加工技术 199803383 编号 实验室 国家级重点实验室 制造商 制造 美国 Micromanipolator 型号 6000-PS4-V 国别 厂商 经费 科研专款 购置 单价 83.80万元 1998年03月 来源 或基金 日期 责任 存放 叶红飞 微电子所214室 教授 地点 基 本 信 息 1、测量平台和显微镜精密手动控制，亚微米分辨率 的平台控制。2 、平台4 ×4范围x-y移动。3 、显微 技术指 镜x-y-z移动，1 ×1 ×2范围。4 、避光测量。5 、 标及功 平台可加热至400 ℃。6 、大视角显示器观察，失效 能简介 分析方便、快捷。 主要用于4吋片的常温和高温（400 ℃）参数测量。 6000系列分析探针台 主要研 ULSI新器件及集成技术 微电子机械系统技术 宽禁带半导体技术 究方向 在研 1.集成化表面牺牲层标准工艺关键技术及相关拓展技术研究张大成、王平 6.90/65nm器件制作离子注入关键工艺研究与验证傅云义 或曾 2. 晶圆级石墨烯电子材料与器件研究傅云义 7.适于16纳米及以下技术代的新型器件研究黄如 承担 3.新器件结构与模型黄如 8.工艺器件可靠性设计，数字单元库的建立刘晓彦 重大 4.基于TSV 的三维封装关键技术金玉丰 9.新原理器件与集成技术研究刘力锋 项目 5.系统级封装设计、测试和可靠性研究金玉丰 1.一种抗辐照的多叉指CMOS器件王文华等 ZL200910087223.5 9.微型电磁式能量采集器及其制备方法袁泉等 ZL200910080541.9 2.一种低功耗高抗干扰性的射频开关张丽杰等 ZL200910243256.4 10.一种阻变存储器张丽杰等 ZL200910085134.7 3.一种阻变存储器及其制备方法邝永变等 ZL200910089611.7 11.微加速度计及其制备方法缪旻等 ZL200910090736.1 奖项 4.一种基于平面工艺自对准制备隧穿场效应晶体管的方法艾玉杰等 201010100144.6 12.一种独立栅控制的纳米线场效应晶体管张立宁等 [P].CN200910089213.5 专利 5.一种自对准制备平面碰撞电离场效应晶体管的方法艾玉杰等 ZL 201010100174.7 13.一种孔洞有序排列的多孔硅的制备方法邓斯天等 ZL200810101961.6 6.一种多态有机阻变存储器及制备方法于哲等 ZL201010162689.X 14.制备凹陷源漏场效应晶体管的方法黄如等 ZL200710000682.6 7.一种电容式MEMS非制冷红外探测器及其制备方法于晓梅等 ZL200910085133.2 15.碳纳米管或纳米线分叉结