EFA51埋沟GHACB的1F#特性研究-重庆邮电大学学报.PDF

第 卷第 期 重庆邮电大学学报 自然科学版 年 月 埋沟的特性研究 王玉青王巍申君君 重庆邮电大学 光电工程学院重庆 摘 要 研究了 埋沟 器件的电容 电压解析模型 分析了埋沟 各种工作模式下的电容与 电压之间的关系 在建模过程中考虑了界面态及结的影响并仿真分析了耗尽模式夹断模式下器件 总的特性的模型 由于在假设界面态密度分布均匀条件下对界面态做了简化处理因而计算结果与实验结 果有所差异 关键词埋沟特性界面态 中图分类号 文献标识码 文章编号 面态和结对器件特性影响的基础上仅针对 引 言 埋沟的夹断模式下的特性进行了研 可以直接热氧化生成 从而使得在 究 到目前为止在考虑界面态影响的基础上 对埋沟的包括过渡模式在内的各 芯片上研制器件成为可能 与 技术相比器件的应用领域进一步 种模式下特性进行具体分析的研究还没有报 延伸到高频高压高温条件下并能在恶劣环境中 道过 因此本文在结合考虑界面态和结影响的 基础上 不仅分析了 埋沟 器件 种 使用 但 界面处存在的界面态却降低了 器件的性能 为了减少界面态对表面沟道器件性能 完全模式下的电容 电压特性而且分析推导了过 渡状态 部分耗尽部分积累模式和部分耗尽部分反 的影响 人们研制出了 埋沟沟道 型模式下的电容 电压解析模型 并对所建模型进 关于埋沟结构 器件的研究国内外已有报 行了仿真从而得出了较为准确的结论 道 等人建立了埋沟的各个 工作模式下的电荷模型 对埋沟 特性进行 理论分析 了初步的探索