01第一讲介绍资料.ppt

Example of simulation flow Mesh *msh.bnd - boundary file *msh.cmd -command file Inspect Sentaurus Device *msh.grd – grid file (structure of mesh) *msh.dat – doping file (doping at each point) *des.cmd – command file *des.plt – current file Tecplot *des.dat – plot files Image files (E-field etc.) Graphs (images or exported data) Strip detector simulation Files available in SENTAURUS/Seminar/Introduction 集成界面 集成工艺仿真系统 Sentaurus Process 淀积（Deposition） 离子注入（Implant） 刻蚀（Etching） 扩散（Diffusion） 掩膜（Mask） 器件结构编辑工具Sentaurus Structure Editor 器件仿真工具Sentaurus Device Sentaurus Device是新一代的器件物理特性仿真工具， 内嵌一维、二维和三维器件物理模型，通过数值求解一维、 二维和三维泊松方程、连续性方程和输运方程，可以准确预 测器件的众多电学参数和电学特性。Sentaurus Device支持 很多器件类型的仿真，包括量子器件，深亚微米MOS器件， 功率器件，异质结器件，光电器件等。此外，Sentaurus Device还可以实现由多个器件所组成的单元级电路的物理特 性分析。 Inspect Creates graphs from *.plt files created by Sentaurus Device Contains electrode voltages, currents etc, and “time” Contains data produced by CurrentPlot (e.g. max electric field) Can graph any pair of data sets Tecplot SV Can load *.grd and *.dat files View meshes View field distributions etc produced by Sentaurus device Contour plots, vectors… tecplot_sv command Tecplot is a general-purpose package for viewing 2D and 3D plots Synopsys then added on extra functions Manuals Tecplot SV user guide only describes extra functions (58 pages) Tecplot User Manual describes regular version of package (632 pages) Tecplot Reference Manual gives script commands (320 pages) N-量子仿真 Open Course 课程简介-历史 微电子专业英语 Physics of Semiconductor Devices（双语） 课程简介-改进 加强专业词汇讲解； 多涉及微电子领域的前沿知识； 有关本专业目前和未来发展状况； 专业课学习，考研，出国； 增加英文多媒体资料； 增加英语口语授课量； 增加课堂练习与课堂互动； 新的课堂作业方式。 授课形式-听、说、读、写 听（课堂听讲+视频资料） 说（课堂讨论） 读（课文+文献） 写（论文，摘要，结论，综述） 课程安排 （1）介绍，回顾 （2）课文-PN结（1） （3）课文-PN结（2） （4）视频-半导体材料 （5）文献阅读（1） （6）课文-BJT（1） （7）课文-BJT（2） （8）视频-集成电路设计 （9）文献阅读（2） （10）课文-MOSFET（1） （11）课文-MOSFET（2） （12）课文-MOSFET（3） （13）视频-半导体工艺（1） （14）文献阅读（3） （15）课文-模拟IC （16）课文-数字IC （17）课文-射频IC （18）视频-半导体工艺（2） （19）文献阅读（4） （20）论文写作，投稿 （21）总结-复习 教材目录1 Session 1 In