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刀具氮化物涂层的研究进展.pdf

综述 1, 2 1 2 2 1 , , , , ( 1.东北大学材料各向异性与织构工程教育部重点实验室,辽宁沈阳 110004; 2. 沈阳大学机械工程学院,辽宁沈阳 110044) : 综述了刀具氮化物涂层的研究进展及发展趋势,分析了制备多元多层氮化物涂层的物理沉积技术及其 劣 势。指出刀具氮化物涂层的种类从单一的金属涂层发展到二元合金涂层, 目前又朝着多元合金复合涂层发展;涂 层的层数从单层发展到多层,而且各单层涂层的厚度将趋于纳米化。多元多层氮化物涂层是今后刀具涂层的研 究热点。 :氮化物涂层; 多元多层化;沉积技术 : TG 162. 29 : A : 025426051(2008) 0920099206 Research progress of n itr ide coatings on tools 1, 2 1 2 2 1 ZHAO Shi2lu , LIYou, ZHANG Jun ,WANG Chuang, LI Chang2sheng (1. Key Laboratory ofMaterialsAnisotropy andTextureEngineering, Northeastern niversity, Shenyang Liaoning 110004, China; 2. SchoolofMechanism Engineering, Shenyang niversity, Shenyang Liaoning 110044, China) A str act: The research progress and development trends of toolnitride coatingswere outlined. The advantages and dis2 advantages in physicaldeposition techniques ofnitride coatingswith multi2constituent andmultilayerwere analyzed. The toolnitride coatingshave developed from singlemetalnitride coatings tobinary constituent alloy coatings andmulti2con2 stituent coatings. The numbers of layers ofthe coatingshasbeen mi proved from single layer tomultilayer, and thenano2 composite coatings are now the development trend. N itride coatingswithmulti2constituent andmultilayerwillbe the re2 search interest oftoolcoatings in the future. K ey word s: nitride coatings;multi2constituent andmultilayer; deposition techniques 随着现代工业的进步和金属切削工艺的发展, 尤 1 单 的金属氮化物涂层 其是高速切削、硬切削和干切削工艺的出现,对金属切 氮化物通常具有熔点高、硬度高、热稳定性好、抗 削刀具提出了越来越高的要求。切削刀具表面涂层技 腐蚀性和抗氧化性好等特点, 尤其是过渡族金属氮化 术是近几十年应市场需求发展起来的材料表面改性技 物常被用作刀具表面强化材料, 以提高基体材料的表 术。超硬氮化物涂层既可有效延长切削刀具的

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