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国家高技术研究发展计划(863 计划)先进制造技术领域
“典型MEMS 器件设计制造与应用关键技术”主题项目
申请指南
在阅读本申请指南之前,请先认真阅读《国家高技术研究发展计
划(863 计划)申请须知》(详见科学技术部网站国家科技计划项目申
报中心的 863 计划栏目),了解申请程序、申请资格条件等共性要求。
一、指南说明
863 计划先进制造技术领域“典型 MEMS 器件设计制造与应用关
键技术” 主题项目是依据《国家中长期科学和技术发展规划纲要
(2006-2020 )》和 863 计划先进制造技术领域战略目标的要求设置
的。
微纳制造技术是先进制造技术领域的重要发展方向之一,MEMS
器件与系统已广泛应用于国民经济和社会发展的诸多领域,开展典型
MEMS 器件设计制造与应用关键技术研究具有重要意义。
项目总体目标:研发若干具有自主知识产权的高性能 MEMS 器
件与系统,实现典型 MEMS 器件与系统的批量化制造与应用,提升
MEMS 器件的规模化制造能力,满足相关重要领域的需求,促进微纳
制造技术和传感器技术的发展。
项目主要研究内容:面向油气田监测、过程控制、汽车电子、消
费电子、灾害预警、交通安全、医疗卫生等重要领域的需求,开展
MEMS 器件与系统的设计、加工、封装、测试、集成等关键技术研究,
开发典型 MEMS 传感器及系统,研制胰岛素泵、芯片级微型原子钟
等微系统。
本项目国拨经费控制额8800 万元。
本项目参照重大项目管理,设置 8 个课题,要求按照课题分别进
1
行申请,填报课题申请书。
二、指南内容
课题 1、油气田监测高性能微传感器及数字化系统
研究目标:突破 MEMS 压力传感器芯片规模化加工技术,研制
出满足油气井监测需要的高性能压力传感器及数字化系统,实现规模
应用。
主要研究内容:研究 MEMS 器件的设计、加工、封装、测试等
关键技术,解决高性能 MEMS 压力传感器的耐高温、耐高压、耐腐
蚀、高稳定性等问题,提高压力传感器芯片的规模化制造水平。
主要考核指标:
(1 )开发的压力传感器综合精度达到或优于 0.2%FS,量程范围
60~150MPa,工作温度 -40~+200℃,平均无故障工作时间 MTBF≥3
年,在油气田监测领域实现应用 1 万只以上。
(2 )应用上述压力传感器,开发出油气井实时监测与控制传感
器数字化系统,实现应用 500 套以上,管理油气井 1 万口以上。
(3 )形成压力传感器芯片规模化加工能力,传感器芯片成品率
≥80%、产能≥300 万个/年。
支持年限:2011 年 1 月至 2013 年 12 月。
本课题拟支持的国拨经费控制额不超过 1000 万元,要求自筹经
费不少于 550 万元。
课题 2、过程控制压力传感器及系统
研究目标:突破 MEMS 压力传感器芯片规模化加工技术,研制
出满足过程控制需求的高精度压力传感器及系统,实现规模应用。
主要研究内容:突破高性能 MEMS 压力传感器结构精确控制、
2
应力精确控制和传感器精密补偿等制造关键技术,提高传感器的精
度、一致性和环境适应性等性能,解决压力传感器芯片规模化加工技
术。
主要考核指标:
(1 )开发综合精度达到 0.05%FS 和 0.075%FS 的两档传感器系
统,压力量程范围 6KPa~50MPa ,稳定性≤0.05%/ 年,工作温度
-40~+85℃,平均无故障工作时间 MTBF≥2 年。
(2 )综合精度达到 0.05%FS 的传感器系统,实现小批量应用;
综合精度达到 0.075%FS 的传感器系统,管芯封装成品率≥80%,组
件成品率≥95%,实现销售 10 万只以上。
(3 )形成压力传感器芯片规模化加工能力,传感器芯片灵敏度
标称值偏离误差≤25%、成品率≥80%、产能 ≥300 万个/年。
支持年限:2011 年 1 月至 2013 年 12 月。
本课题拟支持的国拨经费控制额不超过 1000 万元,要求自筹经
费不
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