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,dm为节困
~ 2. 12 电容式测孔传感器
电容式ìÞ14 犀传感器已在~2. 4 中作了介绍，本节专门介绍电容式测孔传感器。
~2. 12. 1 尔开j洲-1L 伶感~
所谓环形测孔传感器， I.! p 测孔用的电极
为一个剧环状，如图2.12. 1所示。
工作原理在图2.12. 1 中， d
为内电
l
极直径(3mm) ， d . 2mm) ;
为内屏蔽环内径。
z
d 为内屏蔽环外径(3. 8-6mm) , d
3
为节困
m
直径 。• lmm) J t 为内电极与内屏蔽环间绝
缘层厚度(O.lmm) 0
它们之间有如下关系s
d 1 = dl + 2t (2. 12- 1)
dm = ÷叫+ d ) 川2一2)
z
(d t + 3h) ~2dl (2. 12- 3)
图 2 .12.1 环形测孔传感;m 结构示意图
环形传感器测孔如图2. 12. 2 所示。图
1. 保护后， 2. 内民蔽环I 3. 内电磁
中， 传感器 1 和被测工件7 间的电容为
第二.. ~皮、厚度传感器 i 2. 11 177
c=~πeoe， d.
1
-气D一
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