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一个带自热效应的新型LDMOS解析模型 - 硬件和射频工程师

第39卷第4期 微电子学 V01.39,No.4 2009年8月 MZcr卯fecfr口糟fcs Aug.2009 ·模型与算法- 一个带自热效应的新型LDMOS解析模型 高 雯,杨东旭,余志平 (清华大学微电子研究所,北京100084) 摘要:介绍了一个带自热效应的新型LDMOS解析式模型。通过研究以闽值电压为基础的 BSIM3v3模型,增加了对漂移区影响的考虑,同时,加入自热效应影响,且不用引入单独的自热网 络,有效地提高了计算效率。模型中引入有物理背景的新参数来描述LDMoS特有的准饱和效应 和自热效应。在计算实验中,模拟数据很好地吻合实际器件的测量数据,证明该模型适用于ID MOS功率器件在电路中的仿真。 关键词: LDMOS;自热效应;BSIM3v3;解析模型 中图分类号:TP386.1 文献标识码:A AnInnoVatiVe ModelforLDMOSwith Effects Analytical Sel卜Heating GA0 Wen,YANG Dongxu,YUZhiping 100084,P.R.Chi加) (J雄5胁“跆D,Mic埘Z比fr伽掂s,nin动懈Lkiw坶i砂,BP巧ing innovative modelforUⅪ小)s Thisnovel Abstract:Ananalytical includingself_heatingeffects、张s presented LDMOSmodel、Ⅳas from based ofthedrain-e耐 threshold_voltagemodel,BSlM3v3.E“ects physics—based developed d“ft includedand weresimulatedwithout thenllal Allnew region、vere effects network sel卜heating usingseparate ofthismoddhave calculatedj.Vcharacteristicsfromthisrrlodelarein par锄eters physicsmeanings.’r.he good with denlonstratesits forsimulationofcircuits agreementexperimentaldata,which suitability incorporatingpower LDMOSdevices. model KeywOrds:LDMOS;Self-heatingeffect;BSIM3v3;Analytical EEACC:2570F MOS建模方法。荷兰飞利浦的MM20模型[1]和日 1

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