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一个带自热效应的新型LDMOS解析模型 - 硬件和射频工程师
第39卷第4期 微电子学 V01.39,No.4
2009年8月 MZcr卯fecfr口糟fcs Aug.2009
·模型与算法-
一个带自热效应的新型LDMOS解析模型
高 雯,杨东旭,余志平
(清华大学微电子研究所,北京100084)
摘要:介绍了一个带自热效应的新型LDMOS解析式模型。通过研究以闽值电压为基础的
BSIM3v3模型,增加了对漂移区影响的考虑,同时,加入自热效应影响,且不用引入单独的自热网
络,有效地提高了计算效率。模型中引入有物理背景的新参数来描述LDMoS特有的准饱和效应
和自热效应。在计算实验中,模拟数据很好地吻合实际器件的测量数据,证明该模型适用于ID
MOS功率器件在电路中的仿真。
关键词: LDMOS;自热效应;BSIM3v3;解析模型
中图分类号:TP386.1 文献标识码:A
AnInnoVatiVe ModelforLDMOSwith Effects
Analytical Sel卜Heating
GA0
Wen,YANG
Dongxu,YUZhiping
100084,P.R.Chi加)
(J雄5胁“跆D,Mic埘Z比fr伽掂s,nin动懈Lkiw坶i砂,BP巧ing
innovative modelforUⅪ小)s Thisnovel
Abstract:Ananalytical includingself_heatingeffects、张s
presented
LDMOSmodel、Ⅳas from based ofthedrain-e耐
threshold_voltagemodel,BSlM3v3.E“ects
physics—based developed
d“ft includedand weresimulatedwithout thenllal Allnew
region、vere effects network
sel卜heating usingseparate
ofthismoddhave calculatedj.Vcharacteristicsfromthisrrlodelarein
par锄eters physicsmeanings.’r.he good
with denlonstratesits forsimulationofcircuits
agreementexperimentaldata,which suitability incorporatingpower
LDMOSdevices.
model
KeywOrds:LDMOS;Self-heatingeffect;BSIM3v3;Analytical
EEACC:2570F
MOS建模方法。荷兰飞利浦的MM20模型[1]和日
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