三光束激光干涉仪SP 15000 TR - 上海耶葛精密仪器技术有限公司.PDFVIP

三光束激光干涉仪 15米超长测程，高精度长度及角度测量 SP15000TR 设计，构造及工作原理 特性 优点 德国 SIOS 公司全新推出的三光束激光干涉仪 SP- • 可同时在轴向进行三个纳米级精度的长度测量， 15000TR适用于15米超长测程，高精度位移及角度测量， 并实现俯仰角和偏摆角高精度测量 并实现测量数据(长度，角度)即时显示及存储。 • 光束偏转装置可选配,如可调节的光束偏转镜 SP 15000TR干涉仪的位移测量分辨率优于0.1纳米， • 干涉仪内置光束方向检测装置，仪器操作与调整更简易 度测量分辨率优于0.04弧秒。 • 光束间距经过严格出厂标定，以保证测量精度及可靠性 • 由一台稳频激光器同时为三个测量轴提供光源，使三个长 SP 15000TR干涉仪的反射器由三组高精度空心角锥棱镜 度测量值都基于同一参考长度(激光器的波长作为长度测量 组成(高精度空心棱镜反射器装置)。当旋转中心与反射器 参考波长) 中心重合时，其最大可调节倾角为±5度。 角度测量示意图 测量与校准可通过位移控制器实现同步操作。数据采集控 制可通过采用不同形式触发脉冲实现。测量值通过高速 USB接口与计算机进行实时数据传输。 应用 • 精密、超精密机械加工中心/机床、大型高精密 三坐标测量机等，机械轴/坐标轴校准 • 15米超长测程，超精密长度与角度同步测量 • 差动式测量（如:材料膨胀测量） 技术参数 ModellSP15000TR 测量范围 m 15 长度测量分辨率 nm 0,1 波长 nm 632,8 激光频率稳定性(预热后) 2 ∙10-8 激光发射器预热时间 min 10...20 光束间距(水平方向与垂直方向) mm 50 俯仰 与偏摆角测量范围 gra ±5 角度测量分辨率 arcsec 0,04 工作温度范围 °C 15...30 反射器最大位移速度 mm/s 500 介面 标准