XPS本底、峰形及谱峰拟合.PDF

XPS本底、峰形及谱峰拟合 北京师范大学分析测试中心北京师范大学分析测试中心 吴正龙 北京师范大学分析测试中心 wuzl@bnu.edu.cn 引引言言 • XPS谱峰拟合谱峰拟合 – 扣本底 – 选定拟合函数、设定参数 – 设计计算方法设计计算方法//拟合拟合//分析优化分析优化 – 报告结果 •• 为什么需要为什么需要XPSXPS谱峰拟合谱峰拟合？？ – 解析谱峰； – 定量分析组分定量分析组分； – …… 北京师范大学分析测试中心 wuzl@bnu.edu.cn 主要内容 主要内容 北京师范大学分析测试中心 wuzl@bnu.edu.cn 主要内容主要内容 B. 谱峰拟合谱峰拟合 – 线性最小线性最小二乘法乘法LS – 非线性最小二乘法NNLS – 案例案例过渡元素过渡元素、PEPE高分子材料高分子材料、低维碳材料低维碳材料 （石墨烯，碳管，碳纤维，……） 北京师范大学分析测试中心 wuzl@bnu.edu.cn 11 本底本底 • 本底本底 – 电子在输运过程中发生非弹性散射后的发射电子在输运过程中发生非弹性散射后的发射；； – 本底的复杂性； – 影响影响XPSXPS谱峰位谱峰位、峰强峰强、峰形峰形； – 案例：Al2O3 、SiO2 的本底； XPS谱峰比较扣除背景前后谱峰比较扣除背景前后； 北京师范大学分析测试中心 wuzl@bnu.edu.cn 11 本底本底 • 直线本底直线本底 – 非弹性散射低非弹性散射低，，如如C// N//O等轻质量元素组成的等轻质量元素组成的 物质，碳粉，有机高分子物，硅片，MgO等绝 缘体缘体、半导体材料半导体材料 北京师范大学分析测试中心 wuzl@bnu.edu.cn ShirleyShirley本底本底 • ShirleyShirley BackgroundBackground E max F (T )dT  k Fk 1(E ) j (E ) j (Emin ) E E max 优点：计算方便，……； FF ((TT ))dTdT  k 缺点缺点：物物理意义不明确意义不明确。 E min kk为迭代次数为迭代次数，取取FF (E)(E)=j(E)j(E)=jj (E)(E) ，FF ((EE ))=00， 1 0 k+1 min