微波和高温器件的一种空气桥互连方法.PDF

第 卷 第 期 半 导 体 学 报 ２９ ２ 犞狅犾．２９ 犖狅．２ 　 　 　 　 　 　 年 月 ， ２００８ ２ 犑犗犝犚犖犃犔犗犉犛犈犕犐犆犗犖犇犝犆犜犗犚犛 犉犲犫．２００８ 微波和高温器件的一种空气桥互连方法  林若兵 魏 巍 冯 倩 王 冲 郝 跃 　 　 　 　 　 　 　 　 （西安电子科技大学微电子学院 宽禁带半导体材料与器件教育部重点实验室，西安　７１００７１） 摘要：空气桥是单片微波集成电路 犕犕犐犆狊的一种高速互连技术，其目的是减少微波大功率器件单位面积的寄生电容，提 高器件的频率特性 文中提出了一种灵活性很强，应用于微波和高温器件的空气桥定型方法 该方法利用不同性质的光刻 ． ． 进行多层甩胶、低温烘烤牺牲层，制出弧度很好的桥区拱形牺牲层，经低温烘烤的牺牲层的高度比烘烤前的高出 利用 ６０％． 该方法可以制出高性能和高可靠性的空气桥互连结构． 关键词：空气桥；拱形；牺牲层技术 ： ； 犘犃犆犆 ７２８０犈 ６２２０犉 中图分类号： 文献标识码： 文章编号： （ ） 犜犖３０５９９ 犃 ０２５３４１７７２００８０２０３５２０４ 　　　 　　　 １ 引言 ２ 空气桥基本分析 　 　 微波大功率器件快速提高的特征频率和不断增大 互连线采用介质桥互连技术时，相互重叠的两层金 的功率，对高速互连线提出了更高的要求，这就需要发 属线和它们之间的绝缘介质组成电容 假设扁平的金属 ． 展一种寄生电容小，电阻小，工艺简单的互连技术来连 线的宽度大于介质的厚度，即犪 犱，且其单位长度的面 ＞ ［，］ 接电路或器件的各个部分 １２ 空气桥正是利用介电常 积远大于中间介质层厚度的平方，即 ２ 则重叠的 ． 犛 犱．  数最低的空气作为电介质，最大地减少互连交叉处的单 金属线的单位面积电容近似为： ［］ ３ 位面积寄生电容 ，有利于器件频率特性的提高，同时 εε犛