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第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 A’ ) %%) ) ， ， ， 8MH /A’ WM /) ,?XT?I?Y %%) （ ） !%%%9*)%-%%)-A’ %) -$$A9%$ 4+4 3BV,:+4 ,:W:+4 !%%) +UG; / 3USZ / ,ML / 氧对于在!# $ 氛围下用近空间升华法制备 的%’ 薄膜的影响! ）） ） ） ） ） ） ） ! ! ! ! # ! ! ! 夏庚培 冯良桓 蔡亚平 黎 兵 张静全 郑家贵 卢铁城 !）（四川大学太阳能材料与器件研究所，成都 $!%%$ ） ）（四川大学物理系，辐射物理及技术教育部重点实验室，成都 $!%%$ ） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） %%’ ( ) %%) ! !* 采用近空间升华法（ ）在氩 氧气氛中制备了硫化镉（ ）多晶薄膜 利用 ， ， ， 光谱和四 +,, - +., / 012 03, 456 7898:, 探针技术等测试和分析手段系统研究了氧对薄膜的成分、结构、光学和电学等性质的影响/ 结果表明，用近空间升 华法制备的 薄膜具有六方相结构，膜层致密、均匀，平均晶粒大小约为 ，富硫 氧掺入后部分与镉生成氧 +., % ; / 化镉，并随着氧含量的增加，薄膜的成分有趋于化学计量比的趋势，光学带隙加宽，光暗电导比增加 此外，还利用 / 扫描电镜（ ）观察了 断面结合光谱响应（ ）的结果讨论了氧对 界面互扩散的影响 发现，随 ,=6 +.,- +.? @= +.,- +.? / 着 薄膜制备气氛中氧分压的升高， 界面的互扩散程度降低，有利于提高器件在 — 波长范围 +., +.,- +.? A%% $%% ; 内的光谱响应 认为，氧含量的增加不但使 薄膜在光伏应用方面的质量得到改善，而且 太阳电池器件中 / +., +.? 的+.,- +.? 界面也得到了优化/ 关键词： 多晶薄膜，近空间升华法，窗口层，界面 +., ： ， ， ， (!%% (% ’