氧气氛中电极在相同温度不同合金.PDF

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 1% ##$ ， ， ， JDA 31% -D 3 /)U.A ##$ （ ） ###*’#(##$(1% # (1*#1 /LQ/ 7RSOTL/ OT-TL/ ###$ LM.H 3 7MC: 3 OD8 3 氧气氛中!#$% %’ () 电极在相同温度不同合金 时间下的欧姆接触形成机制和扩散行为! 丁志博 王 坤 陈田祥 陈 迪 姚淑德! （北京大学物理学院，北京 ##$%） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） ##% % % ##% ’ 用卢瑟福背散射 沟道技术研究了 上的 电极在氧气氛下相同合金温度（ ）不同合金时间后的 ( )*+,- -.(/0 1## 2 微结构演化，以揭示欧姆接触的形成机制 利用背散射随机谱和 模拟程序研究了电极金属之间的互扩散，用 3 4567 沟道谱探测了电极金属中的氧分布3 结合不同合金时间下比接触电阻 的变化，发现随着合金时间的延长比接触 8 ! 电阻持续降低，在合金时间 后降低的速度减慢， 扩散到 的表面，在 上形成外延结构， 向电极内 9# : /0 +,- )*+,- ; 部扩散反应生成-.; 对降低 起到了关键的作用，表明合金后-.(/0 双层电极中层反转效应已经发生，这种结构 8 ! 变化是形成欧姆接触的有效机制 在相同合金温度（ ）不同合金时间中，氧气氛中的 电极在合金 3 1## 2 )*+,-( -.(/0 时间为## : 时形成的欧姆接触效果最佳3 关键词： ，卢瑟福背散射 沟道，欧姆接触 +,- ( ： ， ， *(++ %$#= $#+ %#? 穴浓度的增加；文献［］则认为，是 的形成导致 % -.; 金属层对 型 肖特基势垒高度的降低；文献 I 引 言