先进电子制造中的重要科学问题.pdf

中 国 科 学 基 金 仪 年 · 学科进 展 与展 望 · 先进 电子 制 造 中的重 要 科 学 问题 雷源 忠 ‘ 雄 建斌士 丁 汉幸 钟 掘 浓 关 国家 自然科 学基金 委 员会 工 程 与材料科 学部 , 北 京 清华大 学摩擦 学 国家重 点实验 室 , 北 京 李上 海 交通 大 学机械 工 程 学 院, 上 海 嵌 中南大 学机 电工 程 学 院 , 长 沙 摘 要 电子 信 息产 业 是 关 系 国家 利 益 和 安全 的基 础 性和 战 略 性产 业 。 成 为 进 电子 制 造 〔 」 先 , 强 国 国 世 纪 展 目 现这 一 目 必 须 主 电子 业 是 我 发 的战略 标 实 标 的关键是 能 自 地 提 供 产 的 工 艺 、 技术和装 备 。 电子 业 的迅 速 发展 , 对 制造 装备 的极 限制 造 能力提 出 了严 峻 的挑 战。 其 主 要 技 术特 点有 高运 动精度 亚 微 米 至 纳米 级定位精度 、 高加 速度 、 高制造 精 度 和 高可 靠 、 。 提 出面 向下 一 代 理 论 方 法 , 造 就 一 大 批 从 的 人 , 国 产 性 新 新 事该领 域 高科技 才 为 我 业 主 权 工 艺 、 、 现 展