场发射扫描电镜进展及其物理基础廖乾初.pdf

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2017-06-18 发布于福建
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场发射扫描电镜进展及其物理基础廖乾初

　　　　 17 ( 3) ∶3 11～ 318　 1998 311 廖乾初 (冶金部钢铁研究总院, 北京 100081) 　　本文评述了场发射扫描电镜的进展及其器技术的物理基础。基于同扫描电镜成像过程有关的物理概念出发,还推导了有关改进器设计和功能所引用到的计算公式。　场发射扫描电镜　物理基础　圆锥阳极型发射电子枪　光阑角控制透镜　半浸没型物镜。 0. 6nm ( 30kV) 2. 5nm( 1kV ) , 。 : 1. ,; 2. ; 3. 。 [ 1] , 。 ,, 。,,, 。( ) ,, 。 , 1。、。, ,, 1, , 0 , 10 S G 20nm。 , E0 ,Δ W [2 ] : 3 e E0 Δ W = 4πX0 ( 1) - 19 : , · () ; , 1. 6× 10 ( Δ W N m e C ) ; 0 , / () ; 0 , E V m X - 12 2 - 1 - 2 8. 85× 10 C N m 。 , = ,( 1) O ΔE O 　　: 1997 11 3,: 1998 1 7 312 　　　　 17 ( 3) ∶3 11～ 318　 1998 0 E 9 2 E0 = 0. 695× 10 O ( 2) ,E 0 O V /m() eV ()。 ( 2) 0 ( 1),。 ( 2) e X : ( 1) 0 。 , 0 E O O E 。 ,; ( 2) 2eV 9 10 5eV ,( 2) E0 10 10 V /m 。 k , V R , E0 : E 0 = Vk /5R ( 3)