10 半导体厂炉管区之批量决策.pdf

10 半導體廠爐管區之批量決策 指導教授 溫于平博士 880806許斐真 880816 涂漢威 參與學生 880835楊程皓 880852 莊貴惠 摘 要 半導體是近年來發展最快速的產業。由於其製程極為複雜，機台加工特性各不相同，造 成了生產管制的困難，又因為具有工件再回流、良率隨機、等候時間限制等特性，造成晶圓 製造廠的製程複雜而且不確定性極高，使得加工策略對晶圓製造的生廠規劃與現場管制變得 非常重要。本專題欲研究的是半導體爐管區機台，探討其批量加工決策，爐管製程是晶圓加 工的一個重要程序 ，所需要的加工時間也很長，而爐管區機台為批量加工機台 ，製程人員常 常為了應該加工幾個批量而苦惱 ，目前廠房內的加工批量都是經由人為決定 ，並無一定的規 範和設定 ，所以 ，我們想探討的議題是 ，對於一個已經選取好的機台 ，並已經挑選好等候線 上欲加工的晶圓製程批量，來判斷是否立即加工這些批量，或等待到接下來某幾批量來到後 ， 再一起進管加工 。 在此專題中 ，首先我們將蒐集到的相關資料、參訪半導體工廠經驗、以及閱覽多方書籍 的內容概要，用以了解並整理目前有關爐管區加工的研究，並也藉此對半導體廠複雜的製程 有更深入的認識；之後，導入批量決策的法則，研究法則概念及意義，觀察導入前後的差異， 並判斷是否合適；最後，再引入成本觀念，整合決策的判斷過程，與實際資料比較，探討評 估績效的結果，並提出研究成果和可供半導體廠改善的建議。