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第 年卷 第 期 无 机 材 料 学 报 匕 ,
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掺杂 对 薄膜 电性 及 气 敏 性 的影 响
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哗 中理 工 大 学物 理 系 武汉
华 中理 工 大 学材 料科 学 系 武汉
中科 院 国际材 料物 理 中心 沈 阳
中 国 高等科技 中心 世 界 实验 室 北 京
摘 要
·
本研 究不用金属 醉盐而 以无机盐 为主体原料, 以 为掺杂剂,
一 一
无水 乙醉为溶剂 , 采用 溶胶 疑 胶 工 艺制备 了不 同 掺杂份 量 的 薄
膜 发现 掺杂 的 薄膜在 常温 下对 气体具有较好 的气敏性 能 同时本文研
究了 掺杂份量对
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