奈米光子晶体设备开发.PDF

奈米國家型科技計畫 奈米光子晶體設備開發 Development of the equipment for nano photonic crystal 單 位：國立虎尾科技大學 計畫主持人：覺文郁教授 國立虎尾科技大學 NFU 精密機械技術研發中心 PMC 2013年10月02 日 團隊人員介紹 ‧總計畫主持人： 覺文郁 國立虎尾科技大學校長 ‧共同主持人： 林博正 國立虎尾科技大學自動化工程系教授 沈金鐘 國立虎尾科技大學自動化工程系教授 朱朝居 工研院電光所研發組長 林宏彝 工研院機械所研發副組長 ‧主要參與人員： 楊錦添 工研院電光所副理 陳來毅 工研院機械所博士 段黎黎 國立虎尾科技大學博士後研究員 鄧雲峰 國立虎尾科技大學博士後研究員 徐東暉 國立虎尾科技大學博士後研究員 黃學良 國立虎尾科技大學博士後研究員 謝東賢 國立虎尾科技大學博士後研究員 吳家鴻 國立虎尾科技大學研究員 國立虎尾科技大學 NFU 2 精密機械技術研發中心 PMC 報告大綱 簡介 雷射直寫式奈米週期性結構微影 設備 光子晶體奈米轉印設備 產業應用 國立虎尾科技大學 NFU 3 精密機械技術研發中心 PMC 簡 介 • 光子晶體(photonic crystal)為週期性排列的介電質分佈結構 ， 由於晶體結構關係，會產生能帶結構，造成某些頻率可往特定 方向可以傳播，而某些方向不能傳播。 • 將光子晶體之奈米結構導入LED照明，可增加發光角度，且 有集中之效果，可提高LED發光效率。 • 光子晶體導入LED 製程，有兩項重要的製程設備，一為雷射 直寫式奈米週期性結構微影設備，主要用於製作具週期性排列 奈米結構之矽模具；另一為奈米轉印設備 ，主要用於轉印微影 製程，將矽模具進行大量翻製。 國立虎尾科技大學 NFU 4 精密機械技術研發中心 PMC 報告大綱 雷射直寫式奈米週期性結構微影設備 國立虎尾科技大學 NFU 5 精密機械技術研發中心 PMC 雷射直寫式奈米週期性結構微影設備架構 長行程線馬定位平台 奈米級壓電補償平台 多自由度雷射干涉儀定位量測系統 藍光直寫光機系統 運動平台重覆定位精度可達奈米等級