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· 1.仪器简介仪器简介 仪器简介仪器简介 1.1 概论概论 概论概论 仪器全称为标准 8 度角绒面积分式反射率量测仪(Standard Diffusion 8° Integration Sphere Spectroscopic - Reflectometer ),是一款可以测量绒面试片的反射率的仪器。 由于绒面的特殊表面,使得测量其反射率变得十分困难。我们根据 ISO7724 和 DIN5033 标准设计的新型的反射率量测仪正是针对这一问题的最佳解决方案。 在太阳能电池制造领域,获得太阳能硅片的反射率对生产的控制及研究有着极其重要的意 义,我们的仪器能够帮助用户及时获得数据,让用户能实时控制生产的状况。 1.2 硬件硬件及其及其参数参数 硬件硬件及其及其参数参数 ●● 积分式反射仪整体积分式反射仪整体 ●● 积分式反射仪整体积分式反射仪整体 工作距离:0.3mm 测量时间:20 秒/点 重复性:1%(以标准片为样品) 多点性:可连续自动测试多点 (X 轴) 测试环境:暗室/光源稳定环境 测量范围:350nm~~1050nm 测量试片:反射率在 0%~100%之间的试片,绒面的试片 测量结果:全波长范围加权平均反射率。 ● ● 积分球积分球 ●● 积分球积分球 积分球出光口直径:20mm 取样范围直径:25mm 积分球内部漫反射系数: 波长(nm) 绝对反射系数 波长(nm) 绝对反射系数 波长(nm) 绝对反射系数 250 0.939 1000 0.991 1800 0.915 300 0.987 1100 0.992 1900 0.829 400 0.995 1200 0.983 2000 0.811 500 0.998 1300 0.98 2100 0.842 600 0.998 1400 0.932 2200 0.842 700 0.997 1500 0.929 2300 0.816 800 0.996 1600 0.944 2400 0.768 900 0.995 1700 0.939 2500 0.701 表 1-1 积分球漫反射系数 ● ● 光谱仪光谱仪 ●● 光谱仪光谱仪 信号接收方式:Back-thinned CCD 组 有效波长范围:320nm~1074nm 解析度:1.45nm 精确度:10 nm 内 0.05% (波长为632 nm 的光源) 采样值范围:16bit(0~65536)` ● ● 氙灯氙灯 ●● 氙灯氙灯 波长范围:250nm~2500nm 额定功率:75W - 1 - ·

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