一.结构组成…1.PDF

JS4S-80D 型溅射台 目 录 一. 结构组成…………………………………………………1 二. 主要性能参数……………………………………………1 三. 操作规程…………………………………………………2 四. 注意事项…………………………………………………3 五. 安全保护措施……………………………………………5 六. 日常维护保养……………………………………………5 七. 常见故障诊断……………………………………………6 八. 文件清单 …………………………………………………10 九. 备件清单…………………………………………………11 附图： 外形结构图……………………………………………………12 JS4S-80D 型溅射台 注意：使用前请仔细阅读说明书 一.结构组成 JS4S-80D型溅射台主要由以下几个部分组成(参见图一)。 1.真空系统 包括分子泵一台,真空室预抽泵机械泵一台。真空测量采用复合真空计。 2.供气系统 两个质量流量计控制四路气体进气。 3.电源及溅射靶系统 包括 1000W射频电源一台，1500W直流电源一台。 4.自动控温系统 可自动控制烘烤温度, 最高控制温度 300℃。 二.主要性能参数 -5 1.极限真空: 6.6×10 Pa 2.工作真空： 抽到 1×10-4Pa的时间≤40分（湿度小于 40％） 3.溅射材料： 各种金属膜、合金膜、介质膜 4.溅射靶规格: φ80 5.样片台可回转，转速可调； 6.样片衬底可加热, 加热温度≤300℃，可自动控温，测温； 7.整机尺寸: 主机: 10907601571 仪器柜: 6106501850 8.整机重量: 主机: 500kg 仪器柜: 200kg 三.操作规程 1.实验前,首先检查整机各部分是否处于良好状态,没有问题后,先打开冷却 水，然后接通电控柜下部电源总开关,准备进行实验操作。 2.装样片: 按下电控柜上中心控制系统真空室充气阀开关(V4),向真空室内 充(氮)气,待充气完毕后,升降允许指示灯亮,按升按钮,提升上盖,将样片 放在旋转盘上,按降按钮,上盖落下盖好，同时记住关闭充气阀(V4)。 3.抽真空: