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升温速率对烧结ITO靶材密度和组织的影响.pdf
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第42 卷第4 期 - - 四 - . 月 , , 句 口 、 J
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稀有金属材料与工程
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2013 年 4 月 RARE METAL MATERlALSAND ENGINEERING
升温速率对烧结 ITO 靶材密度和组织的影晌
程念,刘家祥
(北京化工大学,北京 100029)
摘 要2 采用化学共沉淀法制备 ITO 粉体前驱物,在 600 C 般烧粉体前驱物 4 h. 得到粒径为 20-30 nm 的 ITO 粉体。
添加 1%的聚乙烯醇(PVA)造粒,模压成型制备 ITO 靶材素坯,设置不同的升温速率,在 1550 C 氧气氛下烧结素坯,
得到 ITO 靶材。研究了烧结过程升温速率对 ITO 靶材密度和微观组织的影响。结果表明,在低温阶段 (0-500 C)升
温速率为 3 C /min. 高温阶段 (500-1550 C) 升温速率为 8 C/min 时. ITO 靶材相对密度为 99.58%. 孔洞极少,近
乎完全致密,且靶材宏观上无裂纹。
关键词: ITO 靶材:升温速率:烧结法:相对密度:微观结构
中图法分类号: TF124 文献标识码:A 文章编号: 1002-185X(2013)04-0857-04
ITO (indium tin oxide)膜即锢锡氧化物薄膜,具有 纯度大于等于优级纯的中和剂氨水至混合溶液的 pH
4
值为 8-9 ,再持续搅拌 2 h,使氢氧化物沉淀完全:将
导电性好(电阻率为 10- n.cm 数量级)、对可见光透明
和对红外光反射能力强等特点,被广泛用于电学,光 沉淀物离心洗涤干燥,在 600 C 锻烧粉体前驱物 4 h ,
制备出平均粒径为 20-30 nm 的 ITO 粉体。添加 1%的
学等领域,如液晶显示器(LCD) ,电致彩色显示器
聚乙烯醇(PVA),分为两组, A 组在 180 MPa 下模压
(ECD),平板显示器(FPD),太阳能电池及其它光电子
器件[1-4]0 ITO 薄膜通常采用直流磁控溅射法制备。制 成型,制成相对密度为 42%的素坯;B 组在 200 MPa
下模压成型,制成相对密度为 47%的
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