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不锈钢基底上离子源辅助激光制备薄膜及其结构分析-无机材料学报
第 卷 第 期 无 机 材 料 学 报 ,
年 月 ,
一
文章编号 一 一
不锈钢基底上 离子源辅助激光制备 薄膜
及 其结构分析
,
, , ,
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黄新 堂 王 又 青 陈清 明 徐启 阳
华 中理 工 大 学激 光 技 术 国 家重 点 实验 室 , 武汉 华 中师 范 大 学物 理
系, 武汉
摘 要 室 温下在不锈钢基底上应用 离子源辅助 , 准分子脉冲激光沉积 了 薄膜 研
明 适 , 不 基 上 以 的 ,
究结果表 在合 的工艺条件下 直接在 锈钢 底 可 制备 出 轴取 向 薄膜 但
,
这 时的 薄膜在其 一 平面 内没有观察到织构 的信息 进一步在相 同的条件下 首先在 不
一
锈钢
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