使用感应电荷位敏阳极的极紫外单光子计数成像系统-光学精密工程.PDF

第 卷 第 期 光学 精密工程 １８ １２ 　 Ｖｏｌ．１８ Ｎｏ．１２ 　 　 　　 　　　　 　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　　　 　　　 　 年 月 　 ｐ ｇ ｇ ２０１０ １２ Ｄｅｃ．２０１０ 　 　 　 　 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ２０１０１２２５４３０６ 　 使用感应电荷位敏阳极的极紫外单光子计数成像系统 １ １ １ ２ １ 尼启良 ，何玲平 ，刘世界 ，董宁宁 ，陈 波 　 （ 中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所 应用光学国家重点实验室，吉林 长春 ； １． １３００３３ ２．中国科学院 苏州生物医学工程技术研究所，江苏 苏州２１５１６３） 摘要：研制了用于月基极紫外成像相机的二维极紫外位敏阳极光子计数成像探测器原型样机，该探测器系统主要由工作 在脉冲计数模式下的微通道板堆、楔条形感应位敏阳极及相关的模拟和数据处理电路组成。设计和制备了周期为 １．５ ｍｍ，有效直径为 ４７ｍｍ的三电极楔条形位敏阳极，研制了最高计数率为 ２００ｋＨｚ的前端模拟和数字电路。测量了探测 器的暗计数率、脉冲高度分布、增益、线性及空间分辨率等工作特性。测量结果表明，探测器的空间分辨率为 ／ ７．１３ｌ ｍｍ ｐ （即０．１４ｍｍ），满足月基极紫外相机对空间分辨率的要求。 关 键 词：极紫外探测器；光子计数成像探测器；微通道板；感应电荷；楔条形位敏阳极 　 　 中图分类号： ； 文献标识码： ： ／ Ｖ４４７．３ＴＨ７２４ Ａ 犱狅犻１０．３７８８ＯＰＥ２５４３ 　　 　　 犈狓狋狉犲犿犲狌犾狋狉犪狏犻狅犾犲狋狊犻狀犾犲 犺狅狋狅狀犮狅狌狀狋犻狀 犻犿犪犻狀 狊狊狋犲犿犫犪狊犲犱 犵 狆 犵 犵 犵狔 狅狀犻狀犱狌犮犲犱犮犺犪狉犲 狅狊犻狋犻狅狀狊犲狀狊犻狋犻狏犲犪狀狅犱犲 犵狆 １ １ １ ２ １ ， ， ， ， ＮＩＱｉｌｉａｎ ＨＥＬｉｎｉｎ ＬＩＵＳｈｉｉｅ ＤＯＮＧ