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姓 名:周杭超 专 业:机械工程及其自动化 指导老师:XXX 设计时间:2012.11.10——2013.6.5 研究内容 喷雾液滴穿过小孔挡板,在光滑平面吸附,通过显微图像处理技术,实现液滴粒径的自动测量。设计的三向测试台用于上述喷雾液滴在光滑平面沉积吸附的取样。 喷雾液滴测量实验装置 创新点 1.实现了粒径自动化测量,减轻了劳动强度。 2.小孔挡板的使用,阻止了大部分的油雾流,从而避免液滴在硅片上的重叠。 3.该装置对中性好,取得的液滴分布性好。 4.该设备可以有效地控制喷嘴到硅片的距离,实现连续化不同高度取样。 三向测试台基本参数 根据设计任务书,主要技术指标如下: (1)小孔挡板的尺寸500×500mm ; (2)XY工作行程200×300mm ; (3)喷嘴与小孔挡板的最大距离130mm ; (4)小孔挡板与硅片的最大距离100mm ; (5)最小行程为1mm; (6)硅片的直径100mm。 一.三向测试台的总体方案设计 二.滚珠丝杠螺母副的选型 三.滚动导轨的选型 四.步进电机选型 五.其他部件(联轴器、轴承)的选型与设计 设计步骤 1.三向测试台总体方案设计 三向测试台运动图 2.滚珠丝杠螺母副的选型 Y轴选用型号为BSX1505-500滚珠丝杠副。 其中BSX表示丝杠代号,15表示丝杆轴外径是15mm, 05表示螺距是5mm,500表示丝杠总长是500mm。 3.滚动导轨的参数选型 选择型号SV2R24的直线导轨 X导轨长400mm Y导轨长520mm Z轴导轨长340mm 滑块4个 额定动载荷5.0KN 额定静载荷8.23KN 4.步进电机选型 水平部分:选用步进电机的型号为5相PK系列PK569-A。 垂直部分:滚珠丝杠传动效率高、摩擦小,摩擦角小于滚珠丝杠的螺旋角,因而在垂直方向上不能被自锁。因此选用电磁制动步进电机,型号为5相CRK系列PK564AWM。 5.其他部件的选型与设计 联轴器选择 联轴器选择CPDW32-8-10膜片联轴器。 膜片联轴器是一种高性能的金属弹性元件挠性联轴器,不用润滑,结构较紧凑,强度高,受用寿命长。 轴承选择 支承方式:一端固定,一端支承 固定侧:双列角接触球轴承组件 支承侧:深沟球轴承 主要零部件的三维模型 装配图 致谢 大学学习生活即将结束,借此机会,我要感谢所有机械学院的老师在四年里为我们付出的一切,谢谢您们对我们的谆谆教诲和关心,感谢您们陪伴我们度过人生中最幸福美好的大学生活! 最后要感谢许老师,他每周都抽出时间来指导我们毕业设计,给予了我们极大的帮助和支持。 谢谢观赏! * *
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