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C掺杂型NiCr合金薄膜的电性能和微观结构-宁波大学学报》（理工版
272, 20144
Vol.27 No.2, Apr. 2014 JOURNAL OF NINGBO UNIVERSITY ( NSEE )
C NiCr
1 2
,
1. , 315016; 2. , 518055
: C NiCr ,
NiCr NiCrC . : NiCr C ,
Ni(011)Ni(111); ; C .
: C Ni Cr ; ; ;
: O631.3 : A : 1001-5132201402-0073-05
, NiCr(80/20 at.)(99.99)C(
(Surface Mounting Technology, SMT) 99.99), (99.999)
. , VLP (18 μm)
, ,
(PCB), NiCrC . NiCrC
, , ,
[1-2]. ,
, [10].
(FR-4), , ,
, (PCB)[3], , [1].
, NiCr
. , -90 V, NiCr
NiCr(80/20 at.) 3 A, 5.3×10-3 Pa, 0.16 Pa,
(TCR)[4-6], Ar 25 mL·min-1, 4 r·min-1,
. NiCr . C NiCr ,
, AlSiFeAu , C 0.2, 0.5, 0.8 1
[7], A.
NiCr C 10 min, ,
. .
[8-9]NiCr C , NiCr Ar 10 min,
. .
Hitachi S-4800 (SEM)
1
CSPM5000
UDP-650/4
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