EBmSEM应用OEM模块-SpellmanHighVoltageElectronics.PDF

SEM 应用 S PELLMA N HIG H V O LTA G E ELE T RO NI S O RPO RAT IO N EBm OEM 模块 第1 页，共 2 页 • 适用于电子束列的三极电源 • 高精度、低纹波、超稳定 过流保护 过压保护 • / • 电弧和短路保护 • 提供 OE 定制 • 符合 UL、CE 和 RoHS EBM 专为扫描电子显微镜的电子束列供电，在紧凑的封 输入调节： 10% 输入变化，±0.1% 。 装内提供了加速电源、偏置电源和灯丝电源。斯派曼专有的 纹波： 高压包装和封装技术，相比其他 OEM 电源产品，在尺寸、成 在最大 30kV 、150µA 输出时，150mVp-p。偏置和灯丝 输出。 本和性能上发生了引人注 目的改进。EBM 提供高调节、低纹 温度系数： 波、超稳定的加速器电源，电流在 170µA ，电压从 0 至 -30kV 1000ppm/° 可编程。EBM 提供参考加速器的浮地偏置和灯丝电源。编程 稳定性： 6V/ 10 分钟 信号利用差分模拟输入，来最小化外部噪声和补偿电压影响。 灯丝电源：(参考加速器) 提供一个对地参考的加速器电流监测。EBM 是有电弧和短路 功率： 免疫的，连同过压和过流保护一起。 0 至 15W 负载电阻： 典型应用 1 ±5% 扫描电子显微镜 精确度： ±3% 或 0.1V (以较高者为准) 负载调节： 规格 10% 的负载电阻变化，2% 。 输入电压： 输入调节： +24Vdc, ±5% 。 10% 输入变化，1% 。