LCoS显示芯片的研制.PDF

《电子技术应用》 www.ChinaAET.com 集成电路应用 !#$ 显示芯片的研制 天津南开大学光电子所!5###? 代永平 周晶晶 张永利 李 阳 周 锎 ! 摘 要 介绍 ’()* 显示芯片的研制 三片式投影用 ’()* 显示芯片的物理结构及其电路组成框 图# $ # 芯片整体设计方法 运用 (LMNGON PQJ 工具设计 ’()* 显示芯片的具体策略和相应步骤 给出了 显示芯片的实际设计结果 并对其光学参数进行了测量 ’()* $ % 关键词 硅基液晶 全定制设计 自顶向下 工艺文件 ! ! # $ # % ’()* 硅基液晶2 作为新型显示器件 具有大屏幕 技术 以确保硅片表面是光学平面 整平工艺使得 ’()* $ $ # 技术 硅芯 #像素 高亮度 高分辨率 省电等诸多优势 用 ’()* 制作 片在像素内的局部平整度变化小于 ##JB 间 高分辨率光阀的方法逐渐在平板显示界占有一席之地DE % 的总体平整度变化小于8..JB % 采用这种整平工艺可使 D5E 本文设计的用于三片式彩色投影机的高集成化 ’()* 显 硅光阀的光学性能大大地改进 % 这些改进包括三个方 示芯片 采用标准 四层金属 双电源 工艺 面 首先 平整的表面提高了像素的金属镜面质量 使得 # .6- !3@ @ (FC* # # 设计和制作 其空间分辨率为 像素 目前已在 光学反射性增强 第二 在液晶盒的后阶段制造中 平整 # +## ,-## # ’ # # % # 国内半导体生产线上小批量成功流片 的表面改善了液晶的排列 使液晶盒的可靠性和特性变 得更好 最后 在像素上镀了一层电介质镜面 进一步改 ! #$% 显示器件的物理结构与性能 ’ # # 善了金属的反射性能% 显示 # ’()* 器是一种反射式光调制器 不影响入射光 D: