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LIGA技术-国立高雄第一科技大学
微機電系統導論─LIGA 與LIGA-like製程1
National Kaohsiung First University of Sci. Tech.
LIGA 技術
LIGA Technology
余志成
高雄第一科技大學機械系
Department of Mechanical and Automation Engineering
National Kaohsiung First University of Science and Technology
Micro-Electro-Mechanical System Lab.
NKFUST
What is LIGA ?
German acronym: Lithographie , Gaivanoformung,
Abformung (Lithography微影、 Electroplating電鑄、
Molding模造) X光深刻模造法
By SRRC
By SRRC by SRRC
Lithography Electroplating Molding
Lithography Electroplating Molding
MEMS Lab.
2
國立高雄第一科技大學機械系 余志成 2005
微機電系統導論─LIGA 與LIGA-like製程2
NKFUST
Why LIGA?
80年代發展於Research Center
Karlsruhe用來作製造濃縮鈾所需
的擴散噴嘴
可製作高度達數百微米，而側面
尺寸可達0.2微米之微元件
可用於矽基製程無法製造之金屬
件，或作為塑膠、陶瓷元件之成
形模具
缺點：需以X-ray作為曝光源，製
作成本高
MEMS Lab.
NKFUST
Why “LIGA”?
by SRRC by SRRC
• mass production • any materials
1 µ m
by IMT
• high aspect ratio
by IMT by SRRC
•
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